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林进军
作品数:
3
被引量:11
H指数:1
供职机构:
浙江大学物理系物理学系
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发文基金:
浙江省科技计划项目
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
唐九耀
浙江大学光电信息工程学系国家光...
孙晓斌
浙江大学物理系物理学系
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传感器
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林进军
2篇
孙晓斌
2篇
唐九耀
传媒
1篇
光学学报
年份
1篇
2005
1篇
2004
1篇
1900
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枕型二维位置敏感探测器(PSD)的研制
本文证明了枕型二维PSD设计的基本原理—Gear定理,并指出了适用于枕型二维PSD的位置计算公式,此外本文还提出了枕型PSD的制作工艺和测试结果。我们采用IC工艺技术所研制的枕型PSD器件表现出良好的光电特性和测量准确度...
唐九耀
林进军
孙晓斌
关键词:
位置敏感探测器
硅光电探测器
文献传递
枕型二维位置敏感探测器的研制
被引量:11
2005年
证明了枕型二维位置敏感探测器设计的基本原理———Gear定理,并推导了适用于枕型二维位置敏感探测器的位置计算公式,此外还提出了枕型二维位置敏感探测器的制作工艺和测试结果。采用集成电路工艺所研制的枕型二维位置敏感探测器(光敏面为8 mm×8 mm)表现出良好的光电特性,当反偏为5 V时其暗电流约为15 nA,峰值时的光谱灵敏度超过了0.6 A/W。在所测量的 75%光敏区域内,均方根位置误差约为 0.135 mm,而以均方根位置误差表示的非线性度在1.1%左右,比四边形二维位置敏感探测器的位置线性度提高了近一个数量级。
唐九耀
林进军
孙晓斌
关键词:
光学器件
位置敏感探测器
高速PSD波前传感器的研制及特性测量
林进军
关键词:
自适应光学
光电探测器
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