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杜永刚

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文科技成果

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇压力传感器
  • 2篇汽车
  • 2篇汽车工业
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  • 2篇力传感器
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  • 2篇红外光源
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  • 2篇MEMS
  • 2篇传感
  • 2篇传感器

机构

  • 2篇厦门大学

作者

  • 2篇伞海生
  • 2篇石鹏
  • 2篇杜永刚
  • 2篇傅万里
  • 2篇陈旭远

年份

  • 2篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
MEMS红外光源的研发中试，汽车工业用压力传感器产业化及微纳米技术产业化工艺平台开发与建设
陈旭远伞海生石鹏杜永刚傅万里
1、MEMS红外光源：　　微电子机械系统（MEMS）红外光源采用硅体微机械加工技术开发制造。光源使用绝缘体上硅（SOI）晶片以简化制造工艺，以多晶硅材料为电阻加热发光薄膜，通过微米量级发光层实现高调制频率（不低于40Hz...
关键词：
关键词：红外光源汽车工业压力传感器
MEMS红外光源的研发中试,汽车工业用压力传感器产业化，及微纳米技术产业化工艺平台开发与建设
陈旭远伞海生石鹏杜永刚傅万里
1、MEMS红外光源：　　微电子机械系统（MEMS）红外光源采用硅体微机械加工技术开发制造。光源使用绝缘体上硅（SOI）晶片以简化制造工艺，以多晶硅材料为电阻加热发光薄膜，通过微米量级发光层实现高调制频率（不低于40Hz...
关键词：
关键词：红外光源汽车工业压力传感器
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