曾丹华
- 作品数:3 被引量:10H指数:2
- 供职机构:中国科学院上海应用物理研究所更多>>
- 相关领域:机械工程理学更多>>
- 相移干涉仪中探测器非线性误差及其补偿被引量:8
- 2006年
- 通过对多个相移算法的理论分析和数值模拟,发现探测器的非线性响应在相位中会引入2倍空间频率的系统误差。结果表明,非标准相移算法随着探测器非线性度的增加,相对误差也越来越大。提出了压电陶瓷驱动器的移相误差和光电探测器的非线性误差相互抵消的误差补偿技术,并给出了判别误差匹配有效性的实用判据。仿真表明,这种误差补偿技术可以使测量误差减小约一个量级。证明了在不考虑波前幅度信息时,标准相移算法对光电探测器的非线性为零响应,不影响仪器精度。
- 曾丹华肖体乔席再军杜国浩刘丽想骆玉宇徐洪杰
- 关键词:光学计量空间频率
- 利用同步辐射扭摆器光源研究X射线同轴轮廓成像质量被引量:2
- 2007年
- 利用北京同步辐射光源研究了准平行束X射线同轴轮廓成像中影响成像质量的若干因素。结果表明,同步辐射光束在垂直方向能获得更好的边缘增强效果。尺寸较大的样品能获得更高的衬度。随着样品到探测器距离的增大,衬度增大,但存在一个最佳距离。高分辨率的探测器可以获得较高的衬度和较好的边界锐度。
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- 关键词:成像质量
- 大型非球面轮廓检测技术的比对研究
- 光学非球面的使用可以降低光学系统的复杂性,而且二次曲面在一定条件下没有球差。在常规光学系统中应用非球面,可以减少元件数量,简化光学系统,大幅度提高成像质量。在常规光学元件轮廓检测中,现已经发展了许多基于干涉的检测技术。而...
- 曾丹华
- 关键词:光学检测非球面镜光学系统