彭士元
- 作品数：14 被引量：16H指数：2
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- 金属薄膜应变计中桥路电阻的测试调整和计算
- 1994年
- 本文介绍了金属薄膜应变计如何测试和计算以及应用简便宜行的方法进行调整，使制成的应变栅桥路电阻达到近乎理想的平衡条件。
- 彭士元
- 关键词：金属电阻
- 金属薄膜应变计桥路电阻的测试和计算
- 1993年
- 在传感器的制造中,应变计是个核心部件。尤其是采用真空溅射或真空沉积方法制成的金属薄膜应变计,经常做成应变的形式,其组成桥路的四个应变栅往往连接在一起。这样每个桥臂的电阻值不易直接测得,因为它和其它三个桥臂电阻呈串并联的形式,如图1所示。
- 彭士元欧阳左群
- 关键词：金属电阻应变计
- 传感气体的一个新方法:利用光栅上表面等离子体谐振现象
- 1994年
- 利用表面等离子体谐振现象,传感介电常数的微小变化。这项技术的原理是基于在弱信号的背景上测量谐振的最大值,改善了弱信号给出的信噪比高于以前报导过的表面等离子体技术。在银的表面上,传感压缩的几种有机蒸汽用于证明此项技术的有效性。
- 彭士元
- 关键词：光栅SPR
- 高温压力传感器和变送器的研制
- 1992年
- 该传感器在400 C以上的条件下很稳定地测量各种液体和气体的参数,本文叙述了该传感器的工作原理、结构、材料的选择和研制过程中的技术关键问题。
- 彭士元
- 关键词：传感器变送器压力传感器
- 加热薄膜电容式气体传感器
- 1993年
- 覆盖有气体敏感层的叉指式电容器适用于微电子技术把气体传感器集成化.在加热的膜片上装配上叉指式电容器,使之温度稳定.有意义是使温度梯度横跨大面积传感器的膜.在这项工作中加热器的排列总能够保持温度均匀分布在加热的膜片上.分析的途径和有限的元件对方形膜片通常是估计加热功率分布,设计和制造试验片.制造工艺完全符合标准的双极工艺.
- 彭士元
- 关键词：气体传感器
- 用浸渍法制造添加Pt的SnO_(2-x)薄膜气体传感器特性被引量：1
- 1995年
- 本文研究了含有添加铂的SnO_(2-x)薄膜。SnO(2-x)薄膜是由反应电子来蒸发的烧结SnO_(2-x)粉末而制成。沉积薄膜浸渍于H_2PtCl_6·6H_2O水溶液中并加热。用电子分光仪进行化学分析,研究表面结构和膜的成分,用俄歇电子分光仪和X-射线衍射仪研究薄膜的电性能和Pt添加剂的效应,也研究了气体感器的特性。
- 彭士元
- 关键词：气体传感器浸渍法铂
- 能耐高温的合金薄膜压力传感器和变送器被引量：3
- 1993年
- 合金薄膜压力传感器可以在400C以下的条件下很稳定地测量各种气体和液体的压力。本文叙述了该传感器的工作原理、结构、材料的选择和研制过程中的技术关键问题。
- 彭士元欧阳左群
- 关键词：传感器变送器合金薄膜
- 在氧化锡中掺杂锑的厚膜气体传感器被引量：2
- 1994年
- 掺杂锑的氧化锡厚膜,在氧化气氛中和含有一定水蒸汽的大气中,经常用于检测易燃气体。提供了该厚膜与氢和一氧化碳的反应数据,它的电导率和化学稳定性均好。由于添加5％的钯金属作为催化剂和其它的膜基质材料稀释剂,如5％氧化镁和9％抗氧化的镍、硅化物,保证了气体响应的可靠性和准确度。
- 彭士元赵增光高松
- 关键词：气体传感器氧化锡掺锑监测器
- 改进甲烷气体选择性的一簇氧化锡气体传感器
- 1994年
- 对甲烷气体来说,为了增强氧化锡气体传感器的低温敏感特性(T=310°C),由于催化剂不同,其膜的表面状态也不同,这就引起了各种特性之差异,这已经用电阻式传感器的结构进行了系统的研究。用P_t、CeO_2、La_2O_3和它们的混合物作为催化剂,由它们的性质来看,P_t是燃烧催化剂而CeO_2是原子氧的传输体。实验结果表明了CeO_2和P_t的混合物显示出对膜片检测的极佳催化特性。
- 彭士元
- 关键词：甲烷氧化锡气体传感器
- 改善甲烷气体选择性的氧化锡气体传感器
- 1994年
- 甲烷是一种易燃、易爆的气体,可用氧化锡气体传感器进行探测,为了增强敏感特性,我们使用不同的催化剂进行实验,用Pt、CeO_2、La_2O_3和它们的混合物作为催化剂。由于添加的催化剂不同,使氧化锡膜的表面状态也不同,这就造成了其膜性能的一些差异。从它们的性质来看,Pt是燃烧催化剂,而CeO_2是原子氧的传输体,实验结果表明了CeO_2和Pt的混合物显示出对甲烷的极佳催化特性。
- 欧阳左群彭士元
- 关键词：传感器氧化锡气体传感器甲烷
