孙明仁
- 作品数：57 被引量：94H指数：6
- 供职机构：哈尔滨工业大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学机械工程更多>>
- 空气等离子体基注入Ti6Al4V合金摩擦学性能研究被引量：6
- 2010年
- 采用空气等离子体基离子注入技术对Ti6Al4V合金进行了表面改性。注入负脉冲电压分别为10kV,30kV,50kV,注入剂量为0.6×1017ions/cm2。用X射线光电子能谱仪对注入层元素分布进行了分析,结果表明:改性层的外层为TiO2,外层与内层基体之间存在Ti2O3、TiO、TiN;采用球盘磨损试验机对注入层的摩擦学性能进行了研究。结果表明:随着注入电压的增加,摩擦因数减小,耐磨性能提高。且以50kV注空气最为显著,摩擦因数较基体降低了3倍多,磨损体积与比磨损率较基体均下降了1个数量级以上。注入层硬度比基材Ti6Al4V也有明显提高。
- 冯兴国孙明仁马欣新唐光泽
- 关键词：TI6AL4V摩擦学性能
- 靶功率和基体偏压对BCN薄膜成分及结构的影响被引量：1
- 2009年
- 利用直流磁控溅射技术制备了三元硼碳氮(BCN)薄膜,通过改变靶功率(70 W和210 W)和基体偏压(-50V～-400 V)得到不同成分和组织结构的薄膜。采用X射线光电子能谱仪和傅立叶红外光谱仪分析了薄膜的成分和结构。结果表明:靶功率增加使得薄膜成分发生改变,而基体偏压改变对薄膜中各元素的原子百分含量几乎没有影响;基体偏压的增加会引起高能粒子对基体的轰击作用增强,有利于薄膜中B-N键的形成,而且轰击能量越高越有利于sp^3杂化的B-N键形成。
- 徐淑艳马欣新唐光泽孙明仁
- 等离子体基离子注入与等离子体化学热处理
- 等离子体基离子注入的基本特征，近年来的进展，并与等离子体化学热处理进行了比较，提出了等离子体基材料表面改性的发展的新方向。
- 夏立芳马欣新孙跃孙明仁
- 关键词：离子注入等离子体化学热处理
- 氮/氟离子注入Ti6Al4V合金耐磨性研究被引量：4
- 2016年
- 通过等离子体基离子注入(PBII)表面改性的方法,采用不同的负脉冲偏压对Ti6Al4V合金进行氮/氟离子注入,并研究了改性层的结构、硬度以及摩擦磨损性能等。利用原子力显微镜研究了改性前后的表面粗糙度变化,并用X光电子能谱分析了改性层表面结构和化学组成,还使用力学显微探针分析试样的硬度,并用球盘式摩擦磨损实验仪和扫描电镜表征了摩擦磨损性能并观察了磨痕形貌。测试结果表明:氮氟离子注入改性试样粗糙度降低,并形成了由Ti O2,Ti F3,Ti F4和Ti N等组成的改性层;改性试样的纳米硬度值较未处理基体提高;氮氟离子注入试样表现出更好的弹性回复行为;改性试样摩擦系数和磨损体积均较基体下降,磨痕形貌从粘着磨损为主转变为磨粒磨损,耐磨性改善;注氟偏压-20 k V的试样获得最理想的性能。
- 陈道明孙明仁白贵元马新欣唐光泽
- 关键词：TI6AL4V等离子体基离子注入摩擦磨损性能
- (ZrTANbTiW)N薄膜组织结构与机械性能研究(英文)
- 2013年
- 采用多靶磁控溅射与氮等离子体基离子注入技术制备了多元(ZrTANbTiW)N薄膜,对薄膜的组织结构及硬度进行了研究。结果表明:薄膜的化学成分主要受到样品距靶距离的影响;ZrTANbTiW合金薄膜为非晶或体心立方结构,而其(ZrTANbTiW)N氮化物薄膜由体心立方与面心立方固溶体结构组成;氮离子注入后样品的硬度与弹性模量都有较大程度的提高且最大硬度与弹性模量达到了9.8和149.1GPa。
- 冯兴国唐光泽马欣新孙明仁
- 关键词：磁控溅射离子注入
- 射频磁控溅射聚四氟乙烯靶制备的氟碳膜的力学特性
- 本文用射频磁控溅射聚四氟乙烯（PTFE）靶在p型硅＜100＞基体上制各氟碳膜,并用压痕法研究了它的力学特性。结果表明:射频磁控溅射制备的氟碳膜的模量约为10GPa。硬度值为1GPa,并且和PTFE,类金刚石碳膜（DLC）...
- 唐光泽孙明仁马欣新
- 关键词：模量
- 文献传递
- Ti6A14V合金等离子体基氧离子注入层的层状结构
- 采用等离子体基氧离子注入技术对Ti6Al4V合金进行表面改性.注入负脉冲电压分别为10、20、30、40、50kV,注入剂量为0.6×1017 ions/cm2.用XPS分析了注氧层中元素的分布和化学态.结果显示,注入电...
- 李金龙马欣新孙明仁
- 关键词：TI6A14VX射线光电子能谱层状结构
- 文献传递
- Ti6Al4V合金等离子体基氧离子注入层的层状结构
- 采用等离子体基氧离子注入技术对 Ti6Al4V 合金进行表面改性。注入负脉冲电压分别为10、20、 30、40、50kV,注入剂量为0．6×10ions/cm。用 XPS 分析了注氧层中元素的分布和化学态。结果显示, 注...
- 李金龙马欣新孙明仁
- 关键词：TI6AL4V层状结构
- 文献传递
- O_2/(O_2+Ar)比对磁控溅射La-Sr-Mn-O薄膜沉积速率的影响被引量：2
- 2008年
- 采用直流磁控溅射技术,在不同的O2/(O2+Ar)体积比条件下于Si(100)基片上沉积La–Sr–Mn–O薄膜,结合扫描电子显微分析研究了O2/(O2+Ar)比对薄膜沉积速率的影响。结果表明:薄膜厚度均匀,O2/(O2+Ar)比是影响薄膜沉积速率的重要因素。基体温度和溅射气压较高时,薄膜沉积速率随O2/(O2+Ar)比增加呈抛物线规律下降,O2/(O2+Ar)比由4.4%增加到45.6%,沉积速率减小量可达52.8%;基体温度和溅射气压较低时,薄膜沉积速率随O2/(O2+Ar)比增大呈指数规律下降。薄膜沉积速率下降是由于被溅射原子/离子与氧原子/离子的碰撞几率随氧气含量增加而增大,从而降低了被溅射粒子的能量,使到达基片的粒子数减少。
- 江少群马欣新唐光泽孙明仁王刚
- 关键词：磁控溅射沉积速率
- GCr15钢等离子体基离子注入Ti和C混合层的XPS研究被引量：5
- 1999年
- 用X射线光电子谱研究了GCr15轴承钢不平衡磁控溅射沉积Ti,继之等离子体基离子注入碳的等离子体基离子注入混合层的C ,Ti浓度深度分布及其化学结构。表明混合层的最表层为碳沉积层 ,其C 1s谱峰呈类金刚石特征 ,喇曼光谱肯定了这一特征。碳沉积层下面为C Ti混合区 ,Ti和C各以游离态和化合物态存在。混合层内Ti和C浓度沿层深连续变化 ,无突变区 。
- 孙明仁夏立芳孙跃马欣新李光张振信
- 关键词：等离子体基XPS
