南雪莉
- 作品数:16 被引量:20H指数:3
- 供职机构:中北大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金山西省基础研究计划项目教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域:电子电信化学工程机械工程金属学及工艺更多>>
- 基于聚二甲基硅氧烷的微流控芯片封装技术研究被引量:1
- 2015年
- 提出一种优化的PDMS(聚二甲基硅氧烷)—PDMS键合技术,对PDMS基片与PDMS盖片使用不同的预聚物和固化剂配比进行键合。设置了按不同比例键合、氧气等离子体表面处理键合及涂覆液态PDMS键合这三种方法的对比实验,并将其应用于微流控芯片的封装测试。测试结果表明,不同比例键合后的芯片键合强度适宜,可重复利用,高效节能。键合参数:基片和盖片所用预聚体、固化剂质量比分别为10∶1和15∶1;盖片的固化温度75℃,固化时间40 min。
- 毛静张斌珍杨潞霞王春水南雪莉李惠琴
- 关键词:聚二甲基硅氧烷微流控芯片封装键合强度
- 基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法
- 本发明涉及太赫兹波导耦合器的制备技术,具体是一种基于牺牲层技术的太赫兹波导耦合器及其制备方法。本发明解决了现有太赫兹波导耦合器的制备技术制备过程复杂、制备成本高、制备出的太赫兹波导耦合器精度低、表面粗糙度大、损耗大、功率...
- 张斌珍南雪莉孙玉洁王伟贾志浩毛静崔建利赵龙徐苏萍
- 毫米波腔体滤波器谐振腔平整度误差研究被引量:3
- 2016年
- 平整度误差引起的寄生量变化对毫米波滤波器的自谐振频率及品质因数有重大影响,为获得低插损、高品质因数的滤波器结构,针对滤波器制作中存在的平整度误差,该文开展了一系列的研究。通过对基于SU-8胶的毫米波腔体滤波器电铸工艺实验的反复探索,制定出一套能减小毫米波滤波器谐振腔平整度误差的最优电铸方案,即利用脉冲小电流进行电铸。实验结果表明,利用50mA小电流密度电铸能快速获得平整致密高质量的滤波器谐振腔,其铸层表面平整度误差小于2μm;制作精度高,且能实现快速制作。可见,小电流脉冲电铸得到的铸层平整、致密,可有效减小毫米波滤波器的寄生效应,提高系统的精度及灵敏度。
- 南雪莉张斌珍赵龙徐苏坪
- 关键词:小电流
- 基于UV-LIGA工艺的酸性电铸铜溶液最优化配比被引量:2
- 2014年
- 为了获得镀层平整、致密的金属铜结构,经过反复实验研究获得了电铸铜溶液的最优化配比。首先采用UV-LIGA工艺制作出SU-8胶膜微结构,其次以此光刻固化后的结构作为模具,进行电铸试验。通过对电镀参数的反复调整,获得效果最优的镀液配比分别为:CuSO4·5H2O的质量浓度为180 g/L,98%的H2SO4为70 g/L,纯度为37%的HCl是0.188 mL/L,光亮剂210A、210B、210C分别为0.4 mL/L、0.3 mL/L、4 mL/L。实验结果表明,电铸获得的模具镜面光亮、无分界、质量高。同时,对电镀方法进行了改进,选择在常温下进行电铸实验并加入超声波完成辅助机械处理,得到了高纯度的电铸铜层,铜的重量百分比达到了96.22%,铸层表面显微组织结构明显改善,大大改良了电铸层的力学性能及物理性能。
- 南雪莉张斌珍张少华韩帅毛静
- 关键词:超声处理常温
- 基于MEMS工艺的毫米波喇叭天线的制作方法
- 本发明涉及喇叭天线的制作方法,具体为基于MEMS工艺的毫米波喇叭天线的制作方法,包括以下步骤:选取基片,基片清洗后旋涂感光胶并紫外光刻,得到喇叭天线阵列的模具;在模具上覆盖一层可固化的柔性材料,待柔性材料固化后揭下模具,...
- 张斌珍薛晨阳段俊萍崔建利王伟贾志浩毛静南雪莉
- 文献传递
- 基于MEMS开关的程控步进衰减器
- 本发明涉及微波通讯领域中的衰减器,具体为基于MEMS开关的程控步进衰减器,包括三组T型网络衰减单元,三组T型网络衰减单元都包括衰减开关和短路开关,T型网络衰减单元还包括衰减模块,通过单片机控制衰减开关和短路开关的通断来对...
- 张斌珍薛晨阳贾志浩王伟毛静南雪莉
- 文献传递
- 基于FPGA+ARM的高速U盘记录仪的设计被引量:2
- 2015年
- 为了满足对高速串行数据长时间实时显示存储的要求,提出了一种采用FPGA+ARM作为主控制器结合大容量Flash缓冲的设计方案;系统前端采用FPGA串并转换并控制Flash进行数据采集,后端采用ARM进行实时显示存储;该系统采集速率高,能够采集高达8.45Mbps的输入数据,存储容量可扩;系统是针对两路输入速度高达460 800bps的串行数据而设计的,经测试验证,数据存储可靠稳定,可广泛应用于飞行装置上。
- 张少华李锦明杜东海南雪莉
- 关键词:FPGA
- 采用盲孔填充技术制备金属微电极阵列
- 2017年
- 针对目前MEMS工艺里由于微电铸铸层内应力导致的金属微结构与基底容易脱离的问题和不足,提出一种借助盲孔填充技术制备微电极阵列的方法。选择KMPR作为胶模材料,首先通过UV-LIGA工艺制备出180μm厚的阵列孔缝胶模结构,然后在胶模表面溅射Cu种子层,优化电铸工艺参数:电铸前采用真空润湿的方法排出孔缝内气泡,电铸液中加速剂与抑制剂浓度分别为4×10^(-6)mol/L和24×10^(-6)mol/L,电流密度为1 A/dm^2,在孔缝内电铸铜,并在胶模表面电铸出铜基底,最后获得了高180μm,线宽200μm的两种柱状金属微电极阵列。试验结果表明,盲孔填充技术是一种低成本、安全的制作金属微电极阵列的方法。
- 杨昕张斌珍南雪莉崔建利王万军
- 关键词:UV-LIGA
- 基于FULL型Camera Link的高清彩色图像采集系统的设计被引量:2
- 2014年
- 提出一个基于Full型Camera Link的高清彩色图像采集系统设计方案,采用在Full工作模式下的Camera Link作为了相机与采集卡之间的数据传输总线,可以确保大量数据的快速、准确实时传输。详细阐述了系统内部各功能模块的硬件电路设计思路和软件设计流程。实验结果表明,该系统能够更清晰、更直观地对实验目标进行观测,可以采集到高分辨率的彩色图像。
- 韩帅马游春秦丽丁宁南雪莉
- 关键词:CAMERALINK彩色图像像素
- 一种酸性光亮镀铜电镀液及其电镀方法
- 本发明为一种酸性光亮镀铜电镀液,其组分包括五水硫酸铜、硫酸、氯离子、二硫基苯并咪唑、聚乙二醇、十二烷基硫酸钠、脂肪胺乙氧基磺化物、多胺与环氧乙烷加成物。电镀方法为:含磷0.2%的铜板作为阳极放入电镀液中,将工件放入电镀液...
- 张斌珍杨昕南雪莉徐苏坪王雄师赵亚敏
- 文献传递