刘保安
- 作品数：3 被引量：18H指数：2
- 供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- PMMA基微流控芯片的准分子激光制备方法研究
- 采用准分子激光微加工技术在PMMA表面加工出了微混合器芯片.实验结果表明,采用准分子激光微加工技术可以加工出尺寸基本符合要求的、连续的、表面光洁度高和边界整齐的微通道,可以加工出结构复杂的微流控芯片.
- 姚李英张瑜刘保安陈涛刘世炳左铁钏
- 关键词：高聚物微加工技术微流控芯片
- 文献传递
- PMMA基微流控芯片的准分子激光制备方法研究被引量：8
- 2004年
- 采用准分子激光微加工技术在PMMA表面加工出了微混合器芯片.实验结果表明,采用准分子激光微加工技术可以加工出尺寸基本符合要求的、连续的、表面光洁度高和边界整齐的微通道,可以加工出结构复杂的微流控芯片.
- 姚李英张瑜刘保安陈涛刘世炳左铁钏
- 关键词：高聚物微加工技术微流控芯片
- 采用KrF准分子激光制备聚合酶链式反应微流控芯片被引量：12
- 2005年
- 采用价格便宜的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)代替价格昂贵的硅或者玻璃作为聚合酶链式反应(PCR)微流控芯片的基片材料,采用柔性大、自动化程度高的准分子激光微加工方法代替加工工艺复杂的光刻化学腐蚀方法。通过对聚甲基丙烯酸甲酯准分子激光加工规律的研究,在19kV和18mm/min的优化加工参量下,在40mm×63mm的聚甲基丙烯酸甲酯基片上制备出了20个循环的聚合酶链式反应微流控芯片。芯片微通道横截面呈倒梯形,底面粗糙度小于0.5μm。微通道宽104μm,深56μm,长1040mm,加工耗时57min。该芯片和相同尺寸的盖片在160N和105℃条件下经过20min热压键合在一起,键合强度为0.85MPa。通过进样实验发现键合后的芯片具有良好的密封性。键合后的芯片和温控系统集成在一起,采用比例积分微分(PID)方法得到的控温精度为±0.2℃,采用红外热像仪得到的相邻温区间的温度梯度分别为16.5℃和22.2℃,即该芯片可以实现聚合酶链式反应扩增。
- 姚李英刘保安陈涛刘世炳左铁钏
- 关键词：激光技术准分子激光热键合
