冯玉春 作品数:35 被引量:128 H指数:8 供职机构: 深圳大学 更多>> 发文基金: 深圳市科技计划项目 广东省粤港关键领域重点突破项目 广东省自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 文化科学 经济管理 更多>>
双缓冲层法在硅上外延生长GaN研究 2005年 利用金属有机物化学金相沉积MOCVD在Si(111)衬底上,以高温AlN和低温GaN为缓冲层生长的GaN薄膜,得到GaN(0 0 0 2 )和(10-12 )的双晶X射线衍射(DCXRD)半高宽(FWHM )分别为72 1和840s。采用高分辨率DCXRD ,扫描电子显微镜(SEM )分析。结果表明,以10 40℃生长的AlN缓冲层能防止Ga与Si反应形成无定形的Si Ga结构,是后续生长的“模板”。低温的GaN缓冲层可有效减低外延层的缺陷。DCXRD测得的FWHM为0 .2 1,GaN峰强达7K。 朱军山 胡加辉 徐岳生 刘彩池 冯玉春 郭宝平关键词:SI(111) GAN MOCVD法横向外延过生长GaN薄膜 被引量:4 2009年 介绍了金属有机化学气相沉积(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)法横向外延过生长GaN薄膜的原理,阐述了该技术形成选择生长和减少GaN薄膜缺陷密度的机理。综述了该技术的发展历程以及最新进展。新型的横向外延过生长技术大大简化了生长工艺以及降低了晶向倾斜。 彭冬生 冯玉春 牛憨笨关键词:无机非金属材料 MOCVD GAN SiGe-OI对称型Y分支光功率分配器的研究 被引量:1 2010年 在新材料SiGe-OI(绝缘层上锗硅)单模光波导的基础上,建立了符合单模光波导条件的SiGe-OI对称型Y分支光功率分配器结构,分析了对称型Y分支光功率分配器的模式,并通过BPM模拟软件对SiGe-OI对称型Y分支光功率分配器进行了模拟,分析了光场强度、分支角度、分支过渡区长度以及附加损耗等之间的关系,选择的Y分支光功率分配器过渡区长度L为1200μm,光束被平均分配到两个分支中,出口处每束光的强度大约是入口处强度的50%,符合Y分支器的3 dB特性。该设计可以获得具有均匀输出特性,当分支角小于1°的时候,附加损耗小于0.5 dB的低损耗SiGe-OI对称型Y分支光功率分配器。 冯松 高勇 杨媛 冯玉春含有理想导体的准分形结构光子晶体的能带 被引量:8 2004年 用时域有限差分方法计算了一组具有相似几何结构且包含理想金属材料的准分形光子晶体的能带 .数值计算结果表明 ,这种准分形结构光子晶体具有绝对带隙 ,且带隙的宽度会随着分形级数的增大而增大 .同时 ,随着级数的增大 ,其能带在整体地趋向于高频端的同时 。 李岩 郑瑞生 冯玉春 牛憨笨关键词:光子晶体 带隙 前处理蓝宝石衬底上生长高质量GaN薄膜 2007年 采用化学方法腐蚀部分c面蓝宝石衬底,在腐蚀区域形成一定的图案,利用LP-MOCVD在经过表面处理的蓝宝石衬底上外延生长GaN薄膜.采用高分辨率双晶X射线衍射(DCXRD)、透射光谱分析GaN薄膜的晶体质量和光学质量.分析结果表明,GaN薄膜透射谱反映出的GaN质量与X射线双晶衍射测量的结果一致,即透射率越大,半高宽越小,结晶质量越好;对蓝宝石衬底进行前处理可以大大改善GaN薄膜的晶体质量和光学质量,其(0002)面及(1012)面XRD半高宽(FWHM)分别降低到208.80"及320.76" 彭冬生 冯玉春 牛憨笨关键词:前处理 MOCVD GAN薄膜 图形蓝宝石基GaN性能的研究 被引量:1 2009年 在相同的腐蚀温度下,通过控制对蓝宝石衬底的化学腐蚀时间,以研究其对GaN光学性质的影响。测试结果表明:对蓝宝石衬底腐蚀50 min后,外延生长的GaN薄膜晶体质量及光学质量最优,X射线摇摆曲线中,其(0002)面及(10-12)面的半峰全宽分别降低至202.68 arcsec,300.24 arcsec。透射光谱中,其透射率最高,调制深度最大;光致发光谱的近带边发射峰强度最强,其半高全宽也降低到6.7 nm,几乎看不到任何黄光带。 彭冬生 冯玉春 郑瑞生 牛憨笨关键词:GAN薄膜 表面处理 MOCVD 蓝宝石表面处理对氮化镓光学性质的影响 被引量:5 2008年 采用化学方法腐蚀部分c面蓝宝石衬底,在腐蚀区域形成一定的图案,利用LP-MOCVD在经过表面处理的蓝宝石衬底上外延生长GaN薄膜.利用GaN薄膜光学透射谱,结合椭偏测量得到的折射率色散公式,计算得到GaN薄膜厚度,与椭偏光谱结果几乎一致;在经过表面处理的蓝宝石衬底上外延生长的GaN薄膜表现出更优异的光学质量和结晶质量,其透射谱具有更高的透射率和更大的调制深度,而且其光致发光谱中的黄光带几乎可以忽略. 彭冬生 冯玉春 刘文 刘毅 牛憨笨关键词:GAN薄膜 光学性质 表面处理 MOCVD 功率半导体器件的发展和市场 被引量:2 2000年 功率半导体器件的全球销售额每年以约15%的速率增长,而传统器件如SCR和GTR等的年增长率远小于新型器件。以 Smart Power为代表的新型功率器件集功率、控制和信息于一体,是今后发展的重点。 冯玉春关键词:功率器件 功率半导体器件 半导体产业 大功率GaN基发光二极管等效串联电阻的功率耗散及其对发光效率的影响 被引量:16 2008年 由于自加热效应的存在,大功率GaN基发光二极管(LED)的芯片温度有可能高出环境温度很多,实验中,芯片温度超出环境高达147K.从实验测量的大功率LED电流电压特性曲线中,将p-n结和等效串联电阻上的电压降落分离出来,得到了大功率LED等效串联电阻随芯片温度的变化情况.在输入电功率自加热效应的影响下,大功率GaN基LED等效串联电阻呈现出剧烈的变化,其阻值由低输入功率时的1.2Ω降低到0.9Ω,然后再升高到1.9Ω,等效串联电阻的功率耗散在输入功率中所占的比例也随着输入功率的增加迅速增加,最高时接近50%,成为大功率输入时影响LED流明效率的主要因素. 李炳乾 刘玉华 冯玉春关键词:自加热 等效串联电阻 发光二极管 Monte Carlo模拟薄膜生长的研究 被引量:3 2006年 阐述了MonteCarlo方法在薄膜生长中的应用和最新进展;简要论述了MonteCarlo算法的类型及各自的特点;结合MonteCarlo方法的特点,提出了模拟薄膜生长的模型以及处理方法。同时,归纳出MonteCarlo模拟薄膜生长需要解决的主要问题。 彭冬生 冯玉春 牛憨笨关键词:MONTE 薄膜生长