何少伟
- 作品数：46 被引量：24H指数：3
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金创新研究群体科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术理学机械工程更多>>
- 一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法
- 本发明公开了一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒...
- 陈四海王宏臣黄光何少伟付小朝易新建马宏
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- 一种基于环氧树脂类粘合剂的芯片封装方法
- 一种基于环氧树脂类粘合剂的芯片封装方法，属于电子元器件封装技术领域。本发明采用扫频振动，对用环氧树脂类粘合剂将芯片粘合在封装衬底上芯片，进行接触振动和去应力振动处理。片级封装结构通过扫频振动处理，使得芯片和封装衬底最大程...
- 李伟何敏何剑何少伟蒋亚东
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- 利用非光敏BCB树脂实现多芯片组件平坦化研究被引量：2
- 2005年
- 多层布线和绝缘介质材料的引入使得多芯片组件的芯片表面形貌凸凹不平,采用旋涂介质膜实现芯片表面平坦是常用的平坦化方法。分别介绍了聚酰亚胺、旋涂玻璃膜和苯并环丁烯(BCB)的平坦化特性,论述了非光敏BCB树脂的平坦化工艺原理。在此原理的基础上实现了非致冷红外焦平面的读出电路芯片平坦化,表面台阶从1.39μm下降到0.097μm,平坦度达到93%。
- 付小朝易新建赵小梅何少伟
- 关键词：多芯片组件苯并环丁烯平坦化平坦度
- 微电子机械系统用微燃料电池及其制作方法
- 一种微电子机械系统用微燃料电池，其特征是：它包括外膜(4、6)、燃料输送口(7)、空气输送口(8)、质子交换膜(5)、阴极多孔催化剂薄膜(3)、阳极多孔催化剂薄膜(1)，在所述的质子交换膜(5)的一个表面上覆有所述的阳极...
- 徐智谋李雄吴昊何少伟王双保易新建刘胜连崑
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- 一种可用于SF6泄漏监控系统的红外光窗组件
- 本发明公开了一种可用于SF6泄漏监控系统的红外光窗组件，包括取景镜头、旋转圆环、激光发射器和激光发射器所指向的光电二极管，旋转圆环位于激光发射器和光电二极管之间，激光发射器和取景镜头位于旋转圆环的同一侧，取景镜头的末端指...
- 何少伟黄文灵胡晓东陈志祥
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- 一种激光三维焦平面读出电路
- 本发明公开了一种激光三维焦平面读出电路，包括光电探测器、脉冲检测电路、时间幅值转换电路与强度信息积分电路。光电探测器产生光电流，脉冲检测电路的输出信号控制时间幅值转换电路中的采样开关，时间幅值转换电路对外部斜坡信号采样得...
- 何少伟鲁竞原王振坤李国栋吕坚
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- 一种薄膜微桥结构
- 本实用新型公开了一种薄膜微桥结构。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。本实用新型解决了由于桥...
- 黄光王宏臣陈四海何少伟付小朝易新建马宏
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- 一种红外光学窗口及其制造方法
- 本发明实施例公开了一种红外光学窗口及其制造方法，包括：提供红外光学窗口基片；在入射面上形成第一抗反射结构；在出射面上形成第二抗反射结构；在形成了第一抗反射结构的入射面上形成聚合物薄膜保护层。本发明的实施例中，在入射面的抗...
- 何少伟陈鹏杰王明星胡庆徐向东李伟
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- 蒸发制备金属薄膜实现MEMS工艺中电互连被引量：3
- 2005年
- 介绍了利用蒸发方法制备金属薄膜来实现MEMS工艺中的互连,采用剥离方法制作金属互连柱。分别在剥离层为双层AZ5214负胶、聚酰亚胺(ZKPI-305IID)和AZ5214负胶、ENPI剥离胶的情况下,实验并制备了金属Ni互连柱(双层AZ5214金属柱高1.86μm,聚酰亚胺(ZKPI-305IID)和AZ5214柱高2.0μm,ENPI柱高1.5μm),都起到了较好的互连作用。
- 黄磊陈四海何少伟史锡婷李敏杰李毅易新建
- 关键词：微机电系统互连电子束蒸发
- 剥离技术制作金属互连柱及其在MEMS中的应用被引量：8
- 2005年
- 介绍了利用AZ5214光刻胶及ZKPI-305IID型非光敏聚酰亚胺制作的两种不同的剥离层,即双层AZ5214和ZKPI+AZ5214。此两种剥离工艺简单易操作,可剥离出1μm金属镍柱,并可在MEMS工艺制作中获得了良好的效果。
- 史锡婷陈四海何少伟黄磊李毅易新建
- 关键词：微电子机械系统聚酰亚胺
