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黄保
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2
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深圳大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
向恢复
深圳大学
马晓翠
深圳大学
曹培江
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朱德亮
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叶家聪
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作者
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黄保
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吕有明
1篇
贾芳
1篇
李清华
1篇
柳文军
1篇
盛国浩
1篇
叶家聪
1篇
朱德亮
1篇
曹培江
1篇
马晓翠
1篇
向恢复
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1篇
2010
1篇
2007
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2
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一种磁控溅射掺杂ZnO基薄膜的制备方法
本发明提供了一种磁控溅射掺杂生长ZnO基薄膜的制备方法,包括步骤:将衬底放置在磁控溅射装置的反应室内,反应室抽真空至压力低于1×10<Sup>-4</Sup>Pa;分别将ZnO靶材和掺杂源元素靶材放置在反应室转盘上的射频...
马晓翠
吕有明
柳文军
曹培江
朱德亮
贾芳
黄保
李清华
盛国浩
叶家聪
向恢复
文献传递
稀磁半导体Co掺杂ZnO薄膜的制备与性质研究
本文用亚分子分层掺杂技术,交替磁控溅射Co靶和ZnO靶制备了Co掺杂ZnO薄膜(ZCO)。X射线衍射(XRD)测试结果表明ZCO薄膜在(002)方向有明显的择优取向。x射线光电子能谱(XPS)显示,Co在ZnO薄膜中随深...
黄保
关键词:
磁控溅射
稀磁半导体
铁磁性
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