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黄保

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:深圳大学更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇溅射
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇导体
  • 1篇射频
  • 1篇铁磁
  • 1篇铁磁性
  • 1篇氩气
  • 1篇稀磁半导体
  • 1篇缓冲室
  • 1篇靶材
  • 1篇半导体
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度
  • 1篇磁性

机构

  • 2篇深圳大学

作者

  • 2篇黄保
  • 1篇吕有明
  • 1篇贾芳
  • 1篇李清华
  • 1篇柳文军
  • 1篇盛国浩
  • 1篇叶家聪
  • 1篇朱德亮
  • 1篇曹培江
  • 1篇马晓翠
  • 1篇向恢复

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2007
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种磁控溅射掺杂ZnO基薄膜的制备方法
本发明提供了一种磁控溅射掺杂生长ZnO基薄膜的制备方法,包括步骤:将衬底放置在磁控溅射装置的反应室内,反应室抽真空至压力低于1×10<Sup>-4</Sup>Pa;分别将ZnO靶材和掺杂源元素靶材放置在反应室转盘上的射频...
马晓翠吕有明柳文军曹培江朱德亮贾芳黄保李清华盛国浩叶家聪向恢复
文献传递
稀磁半导体Co掺杂ZnO薄膜的制备与性质研究
本文用亚分子分层掺杂技术,交替磁控溅射Co靶和ZnO靶制备了Co掺杂ZnO薄膜(ZCO)。X射线衍射(XRD)测试结果表明ZCO薄膜在(002)方向有明显的择优取向。x射线光电子能谱(XPS)显示,Co在ZnO薄膜中随深...
黄保
关键词:磁控溅射稀磁半导体铁磁性
文献传递
共1页<1>
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