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马树杰

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海工程技术大学材料工程学院更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇表面形貌

机构

  • 1篇上海工程技术...

作者

  • 1篇陈晖
  • 1篇马树杰
  • 1篇周细应
  • 1篇孙卿

传媒

  • 1篇磨料磨具通讯

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
几种氟碳薄膜制备方法及其表面形貌特征分析
2011年
本文介绍了等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）和磁控溅射法制备氟碳（FC）薄膜，概述了相应FC薄膜的表面形貌特征，主要介绍了电感耦合等离子体化学气相沉积法（ICP—CVD）、电子回旋共振等离子体化学气相沉积法（ECR—CVD）、介质阻挡放电等离子增强化学气相沉积法（DBD—PECVD），最后比较分析了各种制备方法的优缺点。
陈晖周细应孙卿马树杰
关键词：表面形貌
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共1页<1>
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