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韩清涛

作品数：2 被引量：3H指数：1
供职机构：河北工业大学更多>>
相关领域：电子电信文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇文化科学

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇研磨
  • 1篇校产管理
  • 1篇硅单晶
  • 1篇高校
  • 1篇高校科技
  • 1篇高校科技产业

机构

  • 2篇河北工业大学

作者

  • 2篇韩清涛
  • 1篇徐晓辉
  • 1篇刘玉岭
  • 1篇李湘都
  • 1篇刘文润

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇研究与发展管...

年份

  • 1篇1995
  • 1篇1994
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅单晶研磨片表面状态的分析研究被引量：3
1994年
硅单晶研磨片表面状态的分析研究河北工学院（天津３００１３０）刘玉岭，韩清涛，徐晓辉，李湘都硅片研磨是硅器件衬底加工过程中一个重要工序，研磨表面状态的好坏对后步工序的加工直至器件质量，尤其ＶＬＳＩ与ＵＬＳＩ的制备性能与成品率有着极重要影响。但是，这方面...
刘玉岭韩清涛徐晓辉李湘都
关键词：硅单晶研磨
浅议高校校产管理机构的职能
1995年
刘文润韩清涛卢广杰
关键词：高校科技产业
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共1页<1>
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