邹锋
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：浙江工商职业技术学院更多>>
- 发文基金：浙江省教育厅科研计划更多>>
- 相关领域：化学工程理学一般工业技术更多>>
- 超声波对电化学沉积技术影响的研究进展
- 2013年
- 从电极过程液相传质特性、电沉积行为特性和电沉积工艺特性3方面综述了超声波对电沉积过程的影响:在一定条件下,超声波能加速扩散传质过程,减薄扩散层,提高阴极极限电流密度和电沉积速度,改善沉积层的表面形貌和综合性能,并且改变微观织构及粒子与合金的含量。当前,开展的超声电化学沉积研究主要集中于宏观沉积层和低深宽比微米级尺度结构层面,今后高深宽比微米级特征尺度结构及纳米尺度结构的实现乃至优质制造或将成为新的研究热点。
- 葛鲁波邹锋
- 关键词：电化学沉积超声波沉积层表面形貌综合性能
- 面向微机电系统的微细电铸制造技术
- 2013年
- 鉴于微机电系统(MEMS)承载的特殊功能,其制造技术成为当前研究的热点。微细电铸以其固有的诸多技术优势,成为制造复杂结构MEMS零部件的主流技术。概述了超声微细电铸技术、超临界微细电铸技术、屏蔽模板随动式微细电铸技术、辅助交变低气压-温度梯度微细电铸技术和高压微细电铸技术五项面向微机电系统的新型微细电铸制造工艺及其研究进展,并指出了今后的研究重点。
- 葛鲁波邹锋
- 关键词：微机电系统微结构高深宽比
