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邢容

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：信息产业部更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电路
  • 1篇集成电路
  • 1篇溅射
  • 1篇工艺技术

机构

  • 1篇信息产业部

作者

  • 1篇邢容
  • 1篇崔伟

传媒

  • 1篇中国电子学会...

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
数值分析在溅射工艺技术中的应用
本文采用数值分析方法对溅射工艺数据进行分析,得出了工艺数据的拉格朗日插值方程和最小二乘法拟合方程,并应用来解决实际工作中的问题.
崔伟邢容
关键词：集成电路
文献传递
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共1页<1>
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