贺月娇 作品数:9 被引量:4 H指数:1 供职机构: 中国科学院半导体研究所 更多>> 发文基金: 国家高技术研究发展计划 国家自然科学基金 国家重点基础研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 理学 机械工程 更多>>
在解复用模块设计中有效折射率变化的研究 被引量:1 2003年 研究了基于SOI(silicon on insulator)材料的阵列波导光栅(AWG)分波器件,给出了此器件材料色散的数值拟合公式,进而利用BPM方法研究了材料色散脊型波导结构变化和器件制做中刻蚀深度误差对波导有效折射率和波分复用模块性能的影响。结果表明,刻蚀深度误差对模块性能优劣起关键作用。 邱海军 刘育梁 李芳 贺月娇 田珂珂 辛红丽关键词:阵列波导光栅 有效折射率 波分复用 光分插复用 解复用 An Efficient MMI SOI Splitter with Multimode Input/Output Waveguides 2005年 A 1×8 multimode interference power splitter with multimode input/output waveguides in SOI material is designed by the beam propagation method and fabricated by the inductive coupled plasma etching technology for use in fiber optics communication systems.The fabricated device exhibits low loss and good coupling uniformity.The excess loss is lower than 0 8dB,and the uniformity is 0 45dB at the wavelength of 1550nm.Moreover,the polarization dependent loss is lower than 0 7dB at 1550nm.The device size is only 2mm×10mm. 方青 贺月娇 辛红丽 李芳 刘育梁关键词:SOI 抑制相邻通道间耦合串扰的电极布线结构及其制造方法 一种抑制相邻通道间耦合串扰的电极布线结构,包括一衬底,在其上形成低损耗的光波导及高性能的PIN二极管结构;等间距的光波导阵列,形成光传播的路径;不等间距的P<Sup>+</Sup>-N<Sup>+</Sup>掺杂区对阵列... 贺月娇 刘育梁文献传递 抑制相邻通道间耦合串扰的电极布线结构及其制造方法 一种抑制相邻通道间耦合串扰的电极布线结构,包括一衬底,在其上形成低损耗的光波导及高性能的PIN二极管结构;等间距的光波导阵列,形成光传播的路径;不等间距的P<Sup>+</Sup>—N<Sup>+</Sup>掺杂区对阵列... 贺月娇 刘育梁文献传递 带有隔热槽的低功率消耗SOI基热光可变光学衰减器 制作了带有U形隔热槽的马赫-曾德干涉型SOI热光可变光学衰减器,在1510—1610nm波长范围内动态调节范围可达到0-29dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响,最大功率消耗降低了2... 贺月娇 方青 辛红丽 陈鹏 李芳 刘育梁关键词:可变光学衰减器 功率消耗 文献传递 阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构及其制造方法 一种阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构,其特征在于,该结构包括一个阵列波导光栅及与阵列波导光栅输入、输出波导阵列对准耦合的输入和输出光纤阵列,阵列波导光栅与光纤阵列集成在同一片硅衬底上,所述阵列波导光栅的输入/输出波导与... 刘育梁 贺月娇文献传递 低功率消耗、响应快速的SOI基可变光学衰减器 被引量:2 2005年 采用绝缘体上Si(SOI)材料制作了马赫曾德干涉型(MZI)SOI热光可变光学衰减器(VOA),利用隔热槽有效降低器件的功率消耗,提高响应速度。在1510~1610nm波长范围内动态调节范围可达到0~29dB。与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响。最大衰减(29dB)时功率消耗由360mW降低为130mW,器件响应速度提高1倍,响应时间由大于100μs降为小于50μs。 贺月娇 方青 辛红丽 陈鹏 李芳 刘育梁关键词:衰减器 光学 SOI 马赫-曾德 波长范围 调制深度 干涉型 低功率消耗SOI基热光可变光学衰减器 被引量:1 2005年 制作了带有U形隔热槽的马赫-曾德干涉型SOI热光可变光学衰减器,在1510~1610nm波长范围内动态调节范围可达到0~29dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响,最大功率消耗降低了230mW. 贺月娇 方青 辛红丽 陈鹏 李芳 刘育梁关键词:可变光学衰减器 功率消耗 阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构及其制造方法 一种阵列波导光栅与光纤阵列一体化的结构,该结构包括一个阵列波导光栅及与阵列波导光栅输入、输出波导阵列对准耦合的输入和输出光纤阵列,阵列波导光栅与光纤阵列集成在同一片硅衬底上,所述阵列波导光栅的输入/输出波导与光纤阵列采用... 刘育梁 贺月娇文献传递