王琛英
- 作品数：60 被引量：33H指数：4
- 供职机构：西安交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术机械工程文化科学更多>>
- 一种微尺度下放电点火特性的实验装置
- 本发明公开了一种新型的微小尺度下放电点火实验装置，涉及微型内燃机点火及微燃烧的实验研究。该发明针对微内燃机燃烧室腔体尺寸特征和放电点火形式设计了实验装置的关键部件：硅微燃烧室及内置放电点火结构。该实验装置主要由燃烧室腔体...
- 蒋庄德卢德江王琛英
- 文献传递
- 基于激光溯源的纳米台阶高度标准物质研制与计量技术
- 2024年
- 随着半导体产业的快速发展,高精度极小尺寸三维纳米制造技术给纳米测量技术提出了更高的要求,急需开发与之相应的纳米几何量标准物质来满足这一日益迫切的需求。为实现我国纳米台阶高度标准物质的可控制备和纳米高度量值的可溯源性,我国自主研发了与国际水平相当的系列纳米台阶高度标准物质,并基于激光波长实现了米定义直接溯源,为支撑多领域技术研究,打破国外垄断,完善我国纳米几何量值传递体系,促进纳米产业的发展做出了重要贡献。通过对国内外纳米台阶高度标准物质的相关研究进行分析对比,就纳米台阶高度标准物质的研制方法及计量技术进行综述,以期为纳米台阶高度标准物质及其他类型的微纳米几何量标准物质的研究提供参考与展望。
- 王琛英景蔚萱张雅馨李伟张易军李常胜施玉书蒋庄德
- 关键词：计量学标准物质溯源性
- 一种特征尺寸可调控周期性纳米线宽样板及其制备方法
- 本发明提供的一种特征尺寸可调控周期性纳米线宽样板的制备方法，利用在薄膜厚度控制和三维均匀性方面最好的ALD技术制备具有精确厚度的周期性纳米叠层薄膜，然后通过切割，对粘和研磨抛光等微纳加工技术，将纳米薄膜的厚度转化为纳米线...
- 张易军王琛英任巍蒋庄德刘明叶作光毛琦
- 文献传递
- 大长径比台阶钨探针制备方法研究被引量：3
- 2017年
- 研究了基于电化学腐蚀法的大长径比台阶钨探针针尖制备方法,该探针可用于针尖增强拉曼光谱测控系统。在实验室自主设计研制的包含电化学腐蚀控制电路的探针制备装置上,通过精密压电陶瓷控制探针腐蚀时间和位移,获得了长径比可控、重复性好的探针针尖;在此基础上,通过精确调节腐蚀过程中钨丝与液面的位置,制备了台阶探针针尖。
- 高思田施玉书李伟徐靖涛景蔚萱杨树明王琛英
- 关键词：计量学电化学腐蚀长径比
- 一种用ALD构建同心核壳三维纳米多铁异质结阵列的方法
- 本发明公开了一种用ALD构建同心核壳三维纳米多铁异质结阵列的方法，首先在导电玻璃上生长ZnO纳米线阵列，然后利用ZnO纳米线阵列作为模板，采用原子层沉积法ALD依次沉积铁电薄膜和磁性薄膜，在刻蚀掉ZnO纳米线阵列顶部的铁...
- 张易军刘明任巍叶作光王琛英蒋庄德
- 网络环境下创新高校党员思想教育的工作路径
- 2013年
- 本文针对网络环境给学生党员思想教育工作带来的问题,结合高校党建的实际工作经验,分析了网络环境对学生党员思想观念的影响,提出了网络环境下做好党员思想教育工作的创新路径。
- 郑向国王琛英
- 关键词：网络环境学生党员思想教育
- 2~10μm台阶高度标准物质候选物的研制和质量评价
- 2024年
- 微米台阶高度标准物质用于校准仪器z轴性能,传递准确的微米高度量值。利用光刻结合干法刻蚀工艺实现公称高度为2,5,10μm台阶高度标准物质候选物的制备,并对台阶高度、粗糙度和上下表面平行度进行表征。使用激光共聚焦显微镜和非球面测量仪进行测量,基于双边算法、直方图法、ISO算法和光学显微解耦合准则(LEL)法对台阶高度进行评定,对于同一标准物质候选物各评定方法间的标准差均不超过0.024μm,台阶高度评定值的相对偏差均在5%以内,表明不同算法的评定结果一致性水平较高且量值可靠;不同仪器的评定结果对比,说明了评定方法之间也具有良好的一致性;同时,粗糙度不超过0.04μm,上下表面平行度不超过0.03°,验证了标准物质候选物制备效果良好。
- 柳迪王琛英张雅馨王云祥王松陈伦涛王永录朱楠蒋庄德
- 关键词：干法刻蚀粗糙度平行度
- 一种在Cu/Ti薄膜表面生成枝晶图案的方法
- 本发明提供了一种在Cu/Ti薄膜表面生成枝晶图案的方法，首先采用磁控溅射法在Si（100）基底上制备Cu/Ti/Si薄膜，然后采用快速热处理设备在氩气氛围内对样品进行快速退火，退火温度大于600℃，保温一定时间后，随炉冷...
- 蒋庄德林启敬杨树明王琛英
- 文献传递
- 一种压阻式柔性三维力传感器阵列及其制备方法
- 本发明公开了一种压阻式柔性三维力传感器阵列及其制备方法，压力敏感层设置于柔性电极层上表面，力分解与封装层设置于压力敏感层上表面；力分解与封装层上表面具有呈阵列分布的凸起状结构；压力敏感层包括压力敏感单元和柔性绝缘填充物，...
- 王松王琛英蒋庄德牛忠楠张雅馨林启敬田边张亮亮
- 文献传递
- 一种破片击中位置和压力检测传感器结构及检测系统
- 本发明公开了一种破片击中位置和压力检测传感器结构及检测系统，其特征在于，包括压力检测单元阵列和位置检测单元阵列，压力检测单元阵列和位置检测单元阵列分别夹设于两层基底之间，夹设有压力检测单元阵列和位置检测单元阵列的基底堆叠...
- 蒋庄德徐祥跃林启敬张福政王松张雨菁王琛英孙林
- 文献传递
