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李明
作品数:
5
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中北大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
张峰
中北大学
董彦莉
中北大学
刘俊
中北大学
张文栋
中北大学
薛晨阳
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中北大学
作者
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李明
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董彦莉
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张峰
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魏天杰
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薛晨阳
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张文栋
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刘俊
年份
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2022
1篇
2020
1篇
2019
1篇
2009
1篇
2008
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一种边坡失稳模型反演装置
本实用新型公开了一种边坡失稳模型反演装置。该装置的亚克力面板通过合页与木底板连接,面板上部与木底板通过支架铰接连接,通过支架的可伸缩性与可转动性可以使面板绕合页轴转动;后壁下部与木底板之间有三角支撑,后壁上部与木底板通过...
董彦莉
李明
李铢
张峰
韩官骞
郑锦崎
文献传递
一种边坡失稳模型反演装置和反演方法
本发明公开了一种边坡失稳模型反演装置和反演方法。该装置的亚克力面板通过合页与木底板连接,面板上部与木底板通过支架铰接连接,通过支架的可伸缩性与可转动性可以使面板绕合页轴转动;后壁下部与木底板之间有三角支撑,后壁上部与木底...
董彦莉
李明
李铢
张峰
韩官骞
郑锦崎
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一种边坡失稳模型反演装置和反演方法
本发明公开了一种边坡失稳模型反演装置和反演方法。该装置的亚克力面板通过合页与木底板连接,面板上部与木底板通过支架铰接连接,通过支架的可伸缩性与可转动性可以使面板绕合页轴转动;后壁下部与木底板之间有三角支撑,后壁上部与木底...
董彦莉
李明
李铢
张峰
韩官骞
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MEMS器件深槽侧壁形貌测试方法研究
干涉显微镜法是一种获取表面形貌特征的光学测量技术,在半导体器件、光学加工、MEMS技术和微纳米材料分析领域广泛应用。随着微机电系统MEMS的发展,干涉显微技术在MEMS工艺中可以作为非接触、高精度的在线无损检测手段,特别...
李明
关键词:
高深宽比
透射
光程
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基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法
本发明涉及微机电MEMS器件的微形貌测试,具体是一种基于红外白光干涉技术的微结构形貌测试方法,解决了现有测试技术无法对MEMS器件中深沟槽结构侧壁形貌进行测量的问题,以下列步骤实现:1)在待测侧壁表面进行阻止红外线透射的...
薛晨阳
张文栋
熊继军
刘俊
刘文怡
李明
魏天杰
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