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李婉莹
作品数:
5
被引量:7
H指数:2
供职机构:
电子工业部
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
张沈军
电子工业部
樊崇德
电子工业部
姚达
电子工业部
王刚
电子工业部
苏舟
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作者
5篇
李婉莹
5篇
张沈军
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樊崇德
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苏舟
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2篇
1995
2篇
1994
1篇
1992
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LT3486四线接收器的设计与研制
1994年
本文就LT3486四线接收器电路的功能、结构、版图设计、制造工艺,以及电路的测试等情况做一简要介绍。
张沈军
李婉莹
刘敏
王怀荣
苏舟
关键词:
集成电路
PECVD及溅射/蒸发生长二氧化锡薄膜的成形技术
被引量:2
1995年
针对二氧化锡薄膜常用的两种生长方法——等离子增强化学气相沉积(PECVD)及溅射/蒸发生长的不同特点,分别采用了两种不同的剥离工艺方案,由此实现了与IC加工工艺兼容良好的SnO_2薄膜成形技术。
张沈军
李婉莹
姚达
陶星
关键词:
二氧化锡
PECVD
溅射
L26LS30双差分RS-422总线驱动器原理、设计与制造
1994年
本文就L26LS30双差分RS-422总线SR动器的电路的工作原理、功能、结构、版图设计、制造工艺以及电路的测试等情况做一简要介绍。
张沈军
王刚
李桂华
李婉莹
姚秀华
关键词:
总线驱动器
接口电路
VLSI/ULSI制造中颇具前景的涂敷介质成膜技术
被引量:5
1995年
本文就目前国际上流行的两种最为主要的旋涂成膜材料-光敏聚酰亚胺和SOG的理化性能、使用特点及其国内相关技术现状与今后的发展情况加以综述。
张沈军
李婉莹
陶星
樊崇德
关键词:
VLSI
ULSI
集成电路
成膜
VLSI/ULSI中的浅结制造技术
1992年
(超)浅结制造技术是当今VLSI/ULSI的关键技术之一,本文分析了该技术中牵涉到的几个问题,在对当前国外流行的几种实用方法评估对比的基础上,就该技术目前的状况以及今后的发展趋势作一综合论述。
张沈军
李婉莹
胡敏
关键词:
集成电路
VLSI
ULSI
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