朱锋
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
- 供职机构：南京电子器件研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 小型化MEMS高通滤波器研究
- 介绍了一种小型高性能的高通滤波器,该高通滤波器利用两层硅片来实现悬置带线的结构,采用立体布线和通孔的方式来接地,运用HFSS三维电磁场仿真软件设计出了一款截止频率为7.6GHz的MEMS高通滤波器,运用MEMS工艺在两层...
- 朱锋陶子文郁元卫朱健
- 关键词：高通滤波器小型化设计
- 毫米波串联接触式MEMS开关的设计(英文)被引量：1
- 2012年
- 设计并制造了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关.为了在毫米波波段获得较高的隔离度,在RF MEMS开关的输入、输出端口使用细长型的接触端,以降低输入、输出端口的耦合电容.为了获得较高的接触可靠性并降低开关的开启电压,RF MEMS开关上电极结构使用蟹形梁结构.该RF MEMS开关利用南京电子器件研究所微纳米研发部的金表面工艺制备.所获得的RF MEMS开关,在30 GHz频率下,其插入损耗为-0.3 dB,隔离度为-20 dB.在20~40 GHz的频率范围内,其插入损耗均优于-0.5 dB,隔离度均优于-20 dB.
- 侯智昊朱锋郁元卫朱健
- 关键词：毫米波
- 小型化MEMS高通滤波器研究被引量：2
- 2017年
- 介绍了一种小型高性能的高通滤波器,该高通滤波器利用两层硅片来实现悬置带线的结构,采用立体布线和通孔的方式来接地,运用HFSS三维电磁场仿真软件设计出了一款截止频率为7.6GHz的MEMS高通滤波器,运用MEMS工艺在两层硅衬底上进行了样品的研制。样品取得了良好的测试结果,其中通带内的插入损耗小于1.2d B,通带回波损耗小于10.9d B。
- 朱锋陶子文郁元卫朱健
- 关键词：高通滤波器MEMS
- 毫米波串联接触式RF MEMS开关的设计与制造被引量：6
- 2012年
- 设计了一种应用于毫米波波段的串联接触式RF MEMS开关。为了在毫米波波段获得较高的隔离度,通过使用短截线结构,以降低输入输出端口的耦合电容。为了获得可靠的金属接触,设计了一种改进型的"蟹形"桥结构。测试结果显示,在30GHz,插入损耗为-0.3dB,隔离度为-20dB。在DC～40GHz的频率范围内,插入损耗优于-0.5dB,隔离度优于-20dB。所设计的串联接触式RF MEMS开关,可应用于20～40GHz的频率范围内。
- 侯智昊朱锋郁元卫朱健
- 关键词：射频微机电系统开关毫米波
