徐剑虹
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：合肥低温电子研究所更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- 超导Nb膜的淀积及Nb/Al-AlO_X/Nb Josephson结的制备
- 1991年
- 使用低温泵真空系统的平面磁控溅射设备,通过严格控制溅射条件和溅射过程,成功地淀积了室温—液氮电阻比β优于2.2的超导Nb膜。沿用湿法刻蚀技术,制备了面积为4×4μm^2的Nb/Al-AlO_x/Nb Josephson结;并在本所自行研制的4.4K闭循环制冷机上观察到了较为理想的Josephson效应。
- 徐剑虹蔡安江刘萍梅汤延林刘新华王吉云宫海燕张朝兴
- 关键词：超导膜淀积
- 用PECVD法制备非晶态GaP薄膜
- 1990年
- 非晶态半导体材料是一种新型的电子材料,由于它具有特殊的物理性质,使非晶态半导体研究成为较热门的课题之一.对氢化非晶硅(α-Si:H),非晶锗(α-Ge)及非晶态硫系材料的研究已进入较深入的阶段,并应用于器件制作.但对非晶态Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,由于其结构无序和化学无序同时存在,给研究工作带来很大困难,对它们的研究仅限于物理性质的探索.
- 徐剑虹盛文伟熊承堃朱恩均陈坤基
- 关键词：非晶态PECVD法
