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张建铭

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室更多>>
发文基金：北京市教委资助项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇探测器
  • 1篇温中
  • 1篇键合
  • 1篇光刻
  • 1篇红外
  • 1篇红外探测
  • 1篇红外探测器
  • 1篇MEMS
  • 1篇波段

机构

  • 1篇北京工业大学

作者

  • 1篇徐晨
  • 1篇邹德恕
  • 1篇董典红
  • 1篇沈光地
  • 1篇张建铭
  • 1篇吴畯苗
  • 1篇杨道虹
  • 1篇阳启明
  • 1篇李兰

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型室温中远波段红外探测器的关键工艺研究被引量：1
2004年
介绍了一种基于MEMS技术的新型室温中远红外波段硅基电容式红外探测器原理和制作工艺过程,并详细介绍了针对单面光刻机而采用的对准孔双面对准和键合对准技术、浓硼扩散EPW腐蚀停止技术制备超薄敏感硅膜以及薄膜的疏水处理等关键工艺。还对各环节所遇到的问题和其相应的解决方法进行了详细地阐述。
杨道虹徐晨董典红李兰吴畯苗张建铭阳启明邹德恕沈光地
关键词：MEMS红外探测器键合光刻
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