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唐可
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上海大学
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黄健
上海大学材料科学与工程学院电子...
王林军
上海大学材料科学与工程学院电子...
夏义本
上海大学材料科学与工程学院电子...
张继军
上海大学材料科学与工程学院
闵嘉华
上海大学材料科学与工程学院
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一种低噪声高灵敏度的碲锌镉厚膜核辐射探测器及其制备方法
本发明涉及一种低噪声高灵敏度的碲锌镉厚膜核辐射探测器及其制备方法,包括由下至上依此堆叠而成的衬底、栅电极、栅绝缘层、沟道层以及响应层;所述沟道层为氧化锌基薄膜,所述响应层为碲锌镉厚膜;所述沟道层上方沉积了由源电极和漏电极...
李洪伟
黄健
丽娜·阿扎提
黄浩斐
张磊
林龙辉
徐可
钱智超
唐可
王林军
碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法
本发明公开了一种碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法,所述CdZnTe薄膜表面进行机械抛光和化学抛光,即依次进行使用Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>抛光粉的物理机械抛光和使用溴甲醇溶液的化学腐蚀抛光。相比于...
黄健
杨帆
别佳瑛
邹天宇
王同营
马云诚
陈卓睿
黄浩斐
唐可
王林军
文献传递
一种硅基CdZnTe薄膜紫外光探测器的制备方法
本发明涉及一种Si基CdZnTe薄膜紫外光探测器的制备方法,属于紫外光探测器光敏材料及器件制造工艺技术领域;本发明是采用近空间升华方法,在P型Si衬底上制备N型CdZnTe薄膜,形成CdZnTe薄膜/Si异质结结构紫外光...
王林军
姚蓓玲
周捷
沈萍
史冬良
黄健
唐可
张凯勋
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ZnO/纳米金刚石共面栅紫外光探测器的制备方法
本发明涉及一种ZnO/纳米金刚石薄膜紫外光探测器制备方法,属纳米无机化合物能源材料制造工艺技术领域。该方法是将ZnO薄膜以磁控溅射法沉积在纳米金刚石薄膜上,以高纯ZnO陶瓷靶为溅射靶材,通入氩气,调节流量为40标准毫升/...
王林军
赖建明
黄健
唐可
管玉兰
夏义本
文献传递
一种金刚石辐射探测器的欧姆接触电极的制备方法
本发明涉及一种金刚石辐射探测器的欧姆接触电极制备方法。属于金刚石辐射探测器制造工艺技术领域。本发明的要点是利用磁控溅射和离子溅射方法在金刚石薄膜上沉积制备C-Pt-Au三层体系,并在氮气气氛下退火,形成欧姆接触电极。本发...
王林军
杨溢铭
周捷
任兵
王君楠
黄健
唐可
张继军
夏义本
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一种高温、高功率场效应晶体管的制备方法
本发明涉及一种基于p型掺杂单晶金刚石薄膜的高温、高功率金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的制备方法,属于无机非金属材料器件制造工艺技术领域。本发明的主要特点是:在p型硼掺杂单晶金刚石薄膜上,制作源电极、漏电...
王林军
张凤娟
黄健
唐可
曾庆锴
夏辅元
张继军
闵嘉华
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一种CdZnTe薄膜紫外光探测器的制备方法
本发明涉及一种CdZnTe薄膜肖特基结构紫外光探测器的制备方法,属于无机非金属材料器件制造工艺技术领域。本发明是采用近空间升华方法制备CdZnTe薄膜,并制作CdZnTe薄膜肖特基结构紫外光探测器,为制作高性能的紫外光探...
王林军
蔡良敏
黄健
唐可
马礼敏
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姜佳蔚
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圆形结构的MgZnO薄膜晶体管的太阳能电池逆变器及其制备方法
本发明公开了一种圆形结构的MgZnO薄膜晶体管的太阳能电池逆变器及其制备方法,制备了MgZnO薄膜,对太阳能电池逆变器的结构进行了设计,本发明逆变器的结构采用电极‑绝缘层‑沟道层‑电极的结构的组合形式,依次由Cr电极、S...
黄健
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一种高质量立方氮化硼薄膜的制备方法
本发明涉及一种高质量立方氮化硼薄膜的制备方法,该方法主要步骤:钽丝预处理,硅衬底预处理,硅片预处理后放入热丝化学气相沉积装置的反应室内作为沉积衬底;抽真空后在氢气和丙酮气氛中进行金刚石薄膜成核和生长;将沉积好的薄膜在HF...
徐闰
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黄健
唐可
赖建明
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一种基于金刚石薄膜场效应晶体管欧姆接触电极的制备方法
本发明涉及一种基于金刚石薄膜场效应晶体管欧姆接触电极的制备方法。属于金刚石膜场效应晶体管器件制造工艺技术领域。本发明的要点是利用磁控溅射和离子溅射方法在金刚石薄膜上沉积制备Ti-Pt-Au三层金属体系,并在氮气气氛下退火...
王林军
庄晓凤
曾庆锴
潘潇雨
黄健
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