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周宏坤

作品数:1 被引量:1H指数:1
供职机构:哈尔滨工程大学水声工程学院水声技术国家级重点实验室更多>>
发文基金:长江学者和创新团队发展计划更多>>
相关领域:理学交通运输工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电容加速度计
  • 1篇声矢量传感器
  • 1篇矢量
  • 1篇矢量传感器
  • 1篇小型化
  • 1篇小型化设计
  • 1篇机电类比
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇哈尔滨工程大...

作者

  • 1篇周宏坤
  • 1篇洪连进

传媒

  • 1篇中国惯性技术...

年份

  • 1篇2015
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
基于MEMS电容加速度计的声矢量传感器小型化设计被引量:1
2015年
针对传统压电型声矢量传感器无法兼顾小体积与高灵敏度的问题,利用MEMS电容加速度计作为拾振器,实现矢量传感器的小型化设计。首先采用机电类比分析的方法得到内置加速度计的刚硬球体的声致振动响应;然后进行硅微电容加速度计选型和参数分析、设定,并设计制作了一只二维球形矢量传感器样机;最后对样机进行了参数测试,结果表明两矢量通道均具有良好的方向性,声压灵敏度分别为?185 d B和-186 d B(1 k Hz,0 d B ref 1 V/μPa),通道间相位差与理论值保持一致,验证了利用MEMS电容加速度计设计矢量传感器的可行性。
周宏坤洪连进
关键词:声矢量传感器小型化设计机电类比
共1页<1>
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