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刑汝冰
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4
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供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
张平
中国科学院长春光学精密机械与物...
高福斌
中国科学院长春光学精密机械与物...
金锋
中国科学院长春光学精密机械与物...
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刑汝冰
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张平
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2003
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有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法
本发明属于硅基集成有机微光机械振动/加速度传感结构及其有机微光机械传感结构的制备方法。由单通道输入波导、多模干涉耦合器、双通道输出波导和微机械振动悬臂梁组成,采用有机光学材料制备微光机械结构的方法使得制备工艺简单、成本降...
高福斌
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用于化学分析的新型集成光路结构光谱仪
本发明属于光电子技术领域,涉及一种对光栅-光波导结构光谱仪的改进,尤其是涉及对光谱仪中集成光路组件的改进。本发明由光源、聚焦透镜、光谱信号处理系统、硅基片、样品窗口、光波导薄膜、棱镜和光波导衬底组成,本发明用棱镜-光波导...
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有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法
本发明属于硅基集成有机微光机械振动/加速度传感结构及其有机微光机械传感结构的制备方法。由单通道输入波导、多模干涉耦合器、双通道输出波导和微机械振动悬臂梁组成,采用有机光学材料制备微光机械结构的方法使得制备工艺简单、成本降...
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新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法
本发明属于新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法。本发明由光源、透镜、信号处理、硅基片、样品窗口、光波导薄膜、棱镜和光波导衬底组成,本发明采用的制备方法将棱镜制备于光波导薄膜下表面,用棱镜-光波导结构取代光栅-...
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张平
刑汝冰
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