俞友明
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：苏州大学文正学院更多>>
- 发文基金：苏州市科技计划项目国家自然科学基金国家大学生创新性实验计划更多>>
- 相关领域：理学电气工程更多>>
- 厚度对掺铝氧化锌薄膜性能的影响被引量：2
- 2012年
- 室温下,采用射频磁控溅射法在单晶硅及石英片上沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜,所用靶材为掺杂Al2 O3的ZnO多晶烧结靶,其中Al2 O3所占质量百分数为2%,分别采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、霍尔效应测试系统和紫外可见分光光度计来研究不同的薄膜厚度对AZO薄膜结构、表面形貌、电学和光学性质的影响.结果表明:制备的AZO薄膜具有良好的c轴择优取向,同时随着薄膜厚度的增加,薄膜结晶性能变好,电阻率降低,可见光透过率减小.薄膜厚度为1 420 nm时具有最佳的光、电特性,其电阻率可降至4.2×10-3Ω.cm,可见光范围的平均透过率大于82%,且在600 nm波段的透过率高达92%.
- 王岩岩吴明智俞友明王飞吴雪梅诸葛兰剑
- 关键词：AZO磁控溅射膜厚
- 一种单晶硅太阳能电池绒面的制备方法
- 本发明公开了一种单晶硅太阳能电池绒面的制备方法，包括如下步骤：(1)硅片的清洗；(2)将清洗好的硅片放入双频容性耦合等离子体设备中进行刻蚀，得到纳米柱状的绒面结构；(3)冷却，取出硅片；所述步骤(2)中，刻蚀气体为C<S...
- 王飞金成刚吴雪梅诸葛兰剑吴明智王岩岩俞友明
- 文献传递
- 一种单晶硅太阳能电池绒面的制备方法
- 本发明公开了一种单晶硅太阳能电池绒面的制备方法，包括如下步骤：(1)硅片的清洗；(2)将清洗好的硅片放入双频容性耦合等离子体设备中进行刻蚀，得到纳米柱状的绒面结构；(3)冷却，取出硅片；所述步骤(2)中，刻蚀气体为C<S...
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