谢琼
- 作品数：4 被引量：20H指数：2
- 供职机构：中国科学院新疆理化技术研究所更多>>
- 发文基金：科技型中小企业技术创新基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- Si-SiO<,2>-PI结构湿度传感器的特性研究
- 采用Si-SiO<,2>-PI结构制备了聚酰亚胺电容式湿度传感器,对该种传感器的特性进行了测试,并与传统夹层式结构的样品进行了对比.研究表明,Si-SiO<,2>-PI结构的湿度传感器在同等测试条件下,其电容值要比传统结...
- 谢琼常爱民杨文康健
- 关键词：湿度传感器聚酰亚胺
- 文献传递
- 湿度传感器用聚酰亚胺材料亚胺化工艺研究
- 利用红外光谱、差热和热失重等分析手段对聚酰胺酸(PA)的亚胺化工艺过程进行了研究,分析了聚酰亚胺薄膜样品在热演化过程中的分子结构变化,揭示了由聚酰胺酸(PA)向聚酰亚胺(PI)转化物理化学过程.实验发现,70℃-110℃...
- 谢琼常爱民杨文康健
- 关键词：聚酰亚胺亚胺化热分析湿度传感器
- 文献传递
- 湿度传感器用聚酰亚胺材料亚胺化工艺研究被引量：13
- 2003年
- 利用红外光谱、差热和热失重等分析手段,对聚酰胺酸(PA)的亚胺化工艺过程进行了研究,分析了聚酰亚胺薄膜样品在热演化过程中的分子结构变化,揭示了PA向聚酰亚胺(PI)转化的物理化学过程。实验发现,70～110℃之间各种溶剂挥发比较激烈,PA环化脱水转为PI的亚胺化反应在250℃已经基本完成。如果在150℃以下缓慢升温,使溶剂和化学反应生成物充分挥发,或在真空环境下进行亚胺化,有利于避免敏感膜出现气孔或开裂。
- 谢琼杨文常爱民康健
- 关键词：聚酰亚胺亚胺化热分析湿度传感器
- 具有SiO_2绝缘层的硅基聚酰亚胺电容式湿度传感器的特性研究被引量：7
- 2003年
- 传统夹层聚酰亚胺电容式湿度传感器在亚胺化过程中感湿膜会因挥发物产生微孔,对这种传感器的成品率造成很大影响。为此,从元件的结构入手,制作Si-SiO2-PI结构的湿度传感器,对该种传感器的特性进行了测试,并与传统夹层式结构的样品进行了对比。研究表明,Si-SiO2-PI结构的湿度传感器在同等测试条件下,其电容值要比传统结构样品高25%,湿度灵敏度达到1.24 pF / %,具有重复性好和一致性高的优点,并且特别利于克服薄膜孔洞和厚度不均匀造成的短路现象,有利于批量生产。
- 谢琼杨文常爱民康健
- 关键词：湿度传感器聚酰亚胺电容式
