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谢承科: 作品数：28 被引量：15H指数：2; 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>; 发文基金：上海市自然科学基金更多>>; 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术生物学更多>>

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上转换磷光生物检测仪: 一种上转换磷光生物检测仪由光学系统、光电探测器、控制系统、驱动模块、步进电机和供放置试纸条的扫描平台组成，所述的控制系统包括微处理器、光电探测器接口、信号采集电路、驱动模块接口、液晶显示模块、矩阵键盘、射频识别模块、数字...; 谢承科张友宝周蕾屈建峰黄立华郭小娴黄惠杰杨瑞馥; 文献传递

上转换发光免疫层析分析仪及检测方法: 一种上转换发光免疫层析分析仪及检测方法，该分析仪包括光学系统、恒温系统、控制系统、试纸条和试纸条托架，本发明分析仪具有灵敏度高和稳定性好的特点，能快速、准确地进行生物免疫反应检测。; 凌丽青郭凯黄立华谢承科何国俊廖小情屈建峰黄惠杰; 文献传递

光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法: 一种光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法，装置由光源、起偏器、分束镜、测量光衰减片、转动控制器、待测能量传感器、参考光衰减片、参考能量传感器、多功能信号处理卡和计算机组成，该测量装置可分别对光刻机能量传感器的重复性、...; 谢承科陈明杨宝喜黄惠杰; 文献传递

四分之一波片快轴方位实时测量装置: 一种四分之一波片快轴方位实时测量装置，该装置由准直光源、起偏器、标准四分之一波片、衍射分束元件、聚焦透镜、检偏器阵列、光电探测器阵列、放大电路和信号处理系统组成。测量方法是准直光源出射的平行光束经过起偏器、标准四分之一波...; 曾爱军杨坤郭小娴谢承科黄惠杰王向朝; 文献传递

上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法: 一种上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法，上转换磷光生物检测仪由光学系统、光电探测器、控制系统、驱动模块、步进电机和供放置试纸条的扫描平台组成，所述的控制系统包括微处理器、光电探测器接口、信号采集电路、驱动模块接...; 谢承科张友宝周蕾屈建峰黄立华郭小娴黄惠杰杨瑞馥; 文献传递

光学系统定心定位装置及其使用方法: 一种光学系统定心定位装置及其使用方法，该装置的构成包括内调焦望远镜、白光光纤干涉仪、电子学部分、计算机、调整架、导轨和光学平台，本发明装置在光学装校过程中能够同时测量光学元件的中心偏差、中心厚度和中心间隔，对光学系统进行...; 肖艳芬杨宝喜谢承科胡中华曾爱军陈明朱菁黄惠杰; 文献传递

一种光刻机照明控制测试系统及方法: 本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处...; 张友宝马兴华胡小邦谢承科黄立华侯莉颖黄惠杰

双通道实时生物气溶胶监测方法与装置: 一种双通道实时生物气溶胶监测方法与装置，其特点在于该方法包括下列步骤：①大气气溶胶粒子富集；②双通道紫外光诱导荧光检测；③数据处理；④对粒子富集板进行表面清洁与再生；⑤重复进行新一轮循环检测。装置包括气溶胶粒子富集单元、...; 黄惠杰周光超赵永凯冯春霞韩杰黄立华谢承科孙征宇张友宝

准分子激光脉冲能量探测器的设计与性能测试被引量：5: 2015年; 在以准分子激光为光源的步进扫描投影光刻机中，为了精确控制曝光剂量，需要用能量探测器实时、精确地监测单个激光脉冲的能量。研制了一种主要由聚光镜、积分棒、特殊晶体、滤光片、光电探测器和信号处理电路组成的准分子激光脉冲能量探测器；提出采用二阶有源低通滤波电路对窄脉冲信号进行整形处理以降低后续信号处理的难度；搭建测试装置对所研制的能量探测器进行了性能测试。测试结果表明，能量探测器输出的脉冲信号时间参数的实测值与设计值的相对误差约为3%，且其响应时间满足4 kHz高重频的应用要求；采用双光束比对法消除准分子激光单个脉冲能量波动对测试结果的影响，得到能量探测器的测量重复性为0.26%，在入射光束脉冲能量为0.1~1 μJ 的动态范围内具有良好线性，其线性拟合方程为V=0.59841E-0.01508，相应的线性相关系数R2=99.976%。测试结果证明二阶有源低通滤波电路可以实现窄脉冲信号整形；设计的能量探测器具有良好的重复性和线性，可用于光刻机中高重频准分子激光单个脉冲能量的精确测量。; 谢承科陈明杨宝喜黄惠杰; 关键词：探测器准分子激光脉冲整形线性度

上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法: 一种上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法，上转换磷光生物检测仪由光学系统、光电探测器、控制系统、驱动模块、步进电机和供放置试纸条的扫描平台组成，所述的控制系统包括微处理器、光电探测器接口、信号采集电路、驱动模块接...; 谢承科张友宝周蕾屈建峰黄立华郭小娴黄惠杰杨瑞馥; 文献传递