米高园
- 作品数:36 被引量:32H指数:4
- 供职机构:西安应用光学研究所更多>>
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- 相关领域:电子电信理学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 一种大口径超径厚比异形平面光学零件柔性抛光盘
- 本发明公开了一种大口径超径厚比异形平面光学零件柔性抛光盘,包括配形抛光盘和异形零件加工抛光盘,异形零件加工抛光盘嵌入配形抛光盘内,异形零件加工时,柔性抛光盘放置在抛光模上,待抛光面与抛光模表面之间磨削抛光;配形抛光盘包括...
- 冯耕李明伟昌明杨崇民张建付王松林吴斌马方斌张岩刘青龙米高园
- 中波红外3μm~5μm宽带通滤光片的研制被引量:7
- 2013年
- 中波红外宽带通滤光膜通常膜系层数多,膜层总厚度非常大(厚度达到10μm左右),膜层的镀制工艺难度较大。通过分析红外带通滤光片几种设计方法的特点,并结合实际镀制工艺技术,采用了长波通与短波通及非规整薄膜设计技术相结合的方法,设计了以锗材料为基底的中波3μm~5μm宽带通滤光膜。该设计大幅度降低了膜层的总厚度(约为8.65μm),缩短了膜层的镀制周期,提高了膜层的牢固度;在膜层的镀制工艺过程中,通过改变薄膜材料的蒸发速率、修正蒸发硫化锌材料时电子枪的扫描方式、调整蒸发材料在坩埚中的装载方法,使膜层获得了优异的光谱性能,其通带平均透过率大于96%,截止区域的平均透过率小于1%。
- 张建付杨崇民刘青龙王养云谢辉黎明刘永强杨华梅米高园李明伟
- 一种紫外滤光器件
- 本实用新型属于光电信息领域,公开了一种紫外滤光器件。所述紫外滤光器件是由透紫外的棱镜及其4个表面上的薄膜组成。垂直入射到棱镜A面的光进入棱镜内部,后经过B面高反射膜,被反射至C面,经过C面的负滤光膜之后,日盲紫外波段(2...
- 王松林张建付米高园杨崇民王海波朱筱群李明伟刘方金柯贾雪涛赵兴梅王慧娜王颖辉
- 一种实现均匀加热除冰除霜的圆形光学窗口镀膜方法
- 本发明属于光学薄膜领域,具体涉及一种实现均匀加热除冰除霜的圆形光学窗口镀膜方法。所述方法通过对圆形光学窗口表面镀制的可加热薄膜厚度分布进行设计,并制作相应的薄膜厚度调控挡板来调控制备的导电加热薄膜厚度,以改善圆形光学窗口...
- 王松林杨崇民张建付刘青龙米高园陶忠朱筱群李明伟
- 文献传递
- 一种内嵌式电磁屏蔽金属网栅制作方法
- 本发明公开了一种内嵌式电磁屏蔽金属网栅制作方法,包括如下步骤:在光学基底上制作反向掩膜;等离子束刻蚀金属网栅沟槽;金属薄膜镀制;底层薄膜镀制;去胶及清洁;耐环境侵蚀性能的光学增透膜镀制。本发明通过在光学基底表面采用掩膜制...
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- ITO薄膜的电阻并联效应研究被引量:1
- 2020年
- 采用电子束蒸发镀膜方法在K9玻璃基底上分别镀制了ITO/SiO2/ITO,ITO/Ti2O3/ITO和ITO/MgF2/ITO结构的多层薄膜,用四探针方块电阻仪测量薄膜表面的方块电阻,用原子力显微镜观测样品的表面微观形貌。结果显示,当ITO薄膜的粗糙度较大且介质薄膜的物理厚度小于100nm时,各层ITO薄膜之间通过山峰状的凸起结构相连通,导致样片表面的方块电阻测量值与各层ITO薄膜电阻的并联值相当。这表明,当ITO薄膜的粗糙度较大且介质薄膜厚度较小时,各层ITO薄膜表现出电阻并联效应。利用多层ITO薄膜的电阻并联效应设计并制备了450~1 200nm超宽光谱透明导电薄膜,用四探针方块电阻仪测量了试验样片的表面方块电阻,用紫外-可见-近红外分光光度计测试了样片的光谱透射率。结果显示,在相同表面方块电阻条件下,相比于单层ITO薄膜,利用ITO薄膜电阻并联效应所制备的多层透明导电薄膜具有更高的光谱透射率。
- 王松林杨崇民张建付李缘米高园刘青龙
- 关键词:电子束蒸发ITO薄膜方块电阻
- 一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构
- 本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构,包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系,减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成,第一膜层为氟化镁膜层,镀制在氟化镁基片的表面上,膜层厚度18~24nm;第二膜层为...
- 张建付杨崇民米高园张万虎刘青龙黎明王松林刘方杨建军金珂赵兴梅杨华梅王润荣董莹
- 文献传递
- 一种10.6μm激光窗口抗磁可加热薄膜膜系结构
- 本发明提出一种10.6μm激光窗口抗磁可加热薄膜膜系结构,包括红外基片、介质膜层、导电膜层和电极膜层;第一膜层为硫化锌膜层,镀制在所述红外基片的表面上,膜层厚度300~600nm;第二膜层为锗膜层,厚度654±1nm,镀...
- 刘青龙米高园张建付王松林韩俊金柯杨崇民王慧娜黎明董莹刘永强李明伟杨建军
- 文献传递
- 一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构
- 本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构,包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系,减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成,第一膜层为氟化镁膜层,镀制在氟化镁基片的表面上,膜层厚度18~24nm;第二膜层为...
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- 文献传递
- 精确拟合两种薄膜的光学常数及其应用
- 2019年
- 研究了一种新的研究薄膜光学参数的方法,在同一基片上沉积两种薄膜,可以同时对这两种薄膜材料进行参数拟合。通过材料实验与光谱测试,基于柯西公式拟合得到了两种薄膜在可见与近红外波段的光学参数。将获得的薄膜参数应用到透450~600、反650~800滤光膜的设计与制备中,结果表明,用该方法获取的薄膜材料参数具有较高的准确性。
- 王松林张建付米高园李缘王颖辉杨崇民刘青龙
- 关键词:光学薄膜