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田曼曼
作品数:
3
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供职机构:
安徽师范大学
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相关领域:
理学
电子电信
机械工程
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合作作者
刘洪建
安徽师范大学
石建平
安徽师范大学
魏楠楠
安徽师范大学
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干涉光刻
1篇
表面等离激元
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值模拟
机构
3篇
安徽师范大学
作者
3篇
田曼曼
2篇
魏楠楠
2篇
石建平
2篇
刘洪建
年份
1篇
2014
2篇
2013
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一种含金属光子晶体的高效发光二极管
一种含金属光子晶体的高效发光二极管,其特征在于:由基底(1)、n型层(2)、多量子阱(3)、p型层(4)和金属光子晶体(5)组成,金属光子晶体(5)位于p型层(4)之上。本发明利用金属光子晶体的表面等离激元共振效应和能量...
石建平
刘洪建
田曼曼
魏楠楠
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一种含金属光子晶体的高效发光二极管
一种含金属光子晶体的高效发光二极管,其特征在于:由基底(1)、n型层(2)、多量子阱(3)、p型层(4)和金属光子晶体(5)组成,金属光子晶体(5)位于p型层(4)之上。本实用新型利用金属光子晶体的表面等离激元共振效应和...
石建平
刘洪建
田曼曼
魏楠楠
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表面等离激元干涉光刻技术研究
光刻技术是半导体器件微细加工的典型技术,随着科技的不断快速发展,器件的尺寸越来越小,集成度也越来越高,这就对光刻分辨率的要求也越来越高。然而因为有光学衍射极限的存在,致使传统的光刻技术的分辨率受到了极大的限制,最多只能达...
田曼曼
关键词:
表面等离激元
光刻技术
分辨率
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