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朱红清
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京师范大学核科学与技术学院低能核物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李国辉
北京师范大学核科学与技术学院低...
韩德俊
北京师范大学低能核物理研究所
陈如意
北京师范大学低能核物理研究所
姬成周
北京师范大学低能核物理研究所
杨茹
北京师范大学核科学与技术学院低...
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李国辉
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年份
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2001
1篇
2000
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1994
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1992
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Ge/GaAs中APD及薄膜性能研究
2000年
研究了一种光纤通讯用光电探测器。在GaAs上蒸镀800nm的Ge,并在此材料基础上提出了一种吸收倍增分离的雪崩二极管(SAM-APD)的结构设计,采用GaAs作为倍增区,Ge作为吸收区。在此结构上初步制作的二极管正向开启电压为0.2~0.3V,反向击穿电压为2.5V,漏电不明显,p-n结特性良好。
杨茹
李国辉
仁永玲
阎凤章
朱红清
关键词:
雪崩光电二极管
光纤通信
BF^+对^(29)Si^+注入GaAs层的影响
1992年
研究了硅离子注入LEC生长的SI-Ga'As材料时BF^+对离子注入层特性的影响。认为BF^+的影响主要反应在B的影响,由于B的掺入使B替Ga位从而促使大量Si去替As位,形成B_(Ga)-Si_(As)和Si_(As)受主,从而减少了Si_(Ga)的施主浓度并且补偿了n型载流子浓度。因此B的掺入减小了注入层的电激活率。又因为B的掺入产生了一些空位和间隙原子等点缺陷,从而使注入层迁移率下降。实验说明避免BF^+对离子注入层的影响是提高注入层质量的重要关键。
李国辉
韩德俊
陈如意
罗晏
刘伊犁
姬成周
朱红清
王策寰
关键词:
砷化镓
离子注入
形成优质Si^+注入SI—GaAs层的研究
被引量:1
1994年
在GaAs集成电路研制中需要高电激活率、高迁率的n型薄层.本文研究了引Si+注入GaAs形成的n型层光电特性与材料参量、注入和退火条件的关系.结果表明材料生长中的杂质污染和缺陷对注入层电特性有直接影响.材料或退火过程中As和Ga的原子比[As]/[Ca]稍大时,注入层中电激活率和迁移率都高.实验还证明,29Si+注入时BF+束流的影响会使注入层电激活率和迁移率下降.本文指出注入时剂量不宜过大,白光快速退火时温度不宜过高,一般在960℃5秒退火为佳.
李国辉
韩德俊
陈如意
姬成周
王策寰
夏德谦
朱红清
关键词:
砷化镓
集成电路
离子注入
GaAs上Ge薄膜的性能研究
2001年
用超高真空镀膜机在半绝缘GaAs衬底上蒸镀 80 0nmGe ,Ge薄膜在 50 0℃以上退火有再结晶过程 ,退火后由非晶变成多晶 .在Ge和GaAs界面处有互扩散 ,电特性研究表明退火后Ge薄膜呈高浓度 p型 ,可能是由于Ga扩散到Ge中的掺杂或是Ge的缺陷行为所致 .
杨茹
任永玲
李国辉
阎凤章
朱红清
关键词:
再结晶
光纤通信
光电材料
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