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晏学飞
作品数:
2
被引量:0
H指数:0
供职机构:
杭州电子科技大学电子信息学院新型电子器件与应用研究所
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发文基金:
浙江省自然科学基金
浙江省教育厅科研计划
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
邓江峡
杭州电子科技大学电子信息学院新...
秦会斌
杭州电子科技大学电子信息学院新...
郑梁
杭州电子科技大学电子信息学院新...
郑辉
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YIG
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磁控溅射
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作者
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晏学飞
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郑辉
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郑梁
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邓江峡
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射频磁控溅射法制备环形器用YIG薄膜
环形器是一种广泛的应用于微波通信中的器件。随着微波通信系统的快速发展,制备出轻量化、小型化、高性能及低成本的环形器是环形器发展的必然趋势。采用铁氧体薄膜制备的微带薄膜环形器能满足这一要求,因此世界各国的研究人员进行了广泛...
晏学飞
关键词:
环形器
射频磁控溅射法
精度控制
文献传递
退火条件对射频磁控溅射法制备YIG薄膜性能的影响
2014年
本文采用射频磁控溅射法在硅基片上沉积YIG薄膜,主要研究了退火条件对YIG薄膜性能的影响。研究结果表明在750oC退火4小时制备的薄膜性能最好,其饱和磁化强度可达到185.9emu/cm3,远大于YIG块材的Ms(139emu/cm3)。此外,其磁性与Fe2+相关。
晏学飞
邓江峡
郑辉
郑梁
秦会斌
关键词:
YIG
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