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徐翔
作品数:
1
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供职机构:
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
李世直
青岛化工学院等离子体表面技术研...
任志华
青岛化工学院等离子体表面技术研...
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徐翔
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李世直
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青岛化工学院...
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1篇
1993
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PCVD法TiN、TiCN涂层工艺研究
1993年
研究了四氯化钛、氮气、甲烷通入量对 PCVD 法沉积 TiN、TiCN 涂层硬度、沉积速率以及颜色的影响,进行了磨损试验。结果表明,不同色泽的 TiN 膜中,以金黄色 TiN 涂层硬度最高,磨损量最小。
任志华
徐翔
董克学
杨睫
李世直
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TIN
涂层
氮化钛
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