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徐翔

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:青岛化工学院等离子体表面技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化钛
  • 1篇涂层
  • 1篇TIN

机构

  • 1篇青岛化工学院

作者

  • 1篇徐翔
  • 1篇任志华
  • 1篇李世直

传媒

  • 1篇青岛化工学院...

年份

  • 1篇1993
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
PCVD法TiN、TiCN涂层工艺研究
1993年
研究了四氯化钛、氮气、甲烷通入量对 PCVD 法沉积 TiN、TiCN 涂层硬度、沉积速率以及颜色的影响,进行了磨损试验。结果表明,不同色泽的 TiN 膜中,以金黄色 TiN 涂层硬度最高,磨损量最小。
任志华徐翔董克学杨睫李世直
关键词:TIN涂层氮化钛
共1页<1>
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