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张波

作品数:1 被引量:31H指数:1
供职机构:浙江工业大学机械工程学院特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇硬材料
  • 1篇切损
  • 1篇线锯
  • 1篇磨料
  • 1篇固着磨料
  • 1篇超硬
  • 1篇超硬材料

机构

  • 1篇浙江工业大学

作者

  • 1篇胡晓冬
  • 1篇张波
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇超硬材料工程

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
线锯切割技术的应用与发展被引量:31
2008年
随着电子工业的飞速发展,晶片的应用越来越广泛,晶片加工技术也越来越受到重视,其中晶片切割是制约后续工序中成品率高低的重要工序。文章概述了半导体材料切割技术现状,介绍了线锯切割的技术原理及其切割机理,并提出了线锯切割技术的发展趋势。
张波刘文涛胡晓冬李伟
关键词:线锯超硬材料固着磨料切损
共1页<1>
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