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张波
作品数:
1
被引量:31
H指数:1
供职机构:
浙江工业大学机械工程学院特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
李伟
浙江工业大学机械工程学院特种装...
胡晓冬
浙江工业大学机械工程学院特种装...
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金属学及工艺
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固着磨料
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超硬
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超硬材料
机构
1篇
浙江工业大学
作者
1篇
胡晓冬
1篇
张波
1篇
李伟
传媒
1篇
超硬材料工程
年份
1篇
2008
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1
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线锯切割技术的应用与发展
被引量:31
2008年
随着电子工业的飞速发展,晶片的应用越来越广泛,晶片加工技术也越来越受到重视,其中晶片切割是制约后续工序中成品率高低的重要工序。文章概述了半导体材料切割技术现状,介绍了线锯切割的技术原理及其切割机理,并提出了线锯切割技术的发展趋势。
张波
刘文涛
胡晓冬
李伟
关键词:
线锯
超硬材料
固着磨料
切损
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