张效翔
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 供职机构：上海大学机电工程与自动化学院更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 计入空气阻尼的MEMS微谐振器非线性动力学研究
- 本文针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究.建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动...
- 高嵘王小静张效翔王敏于茂华谢明春
- 关键词：非线性动力学微谐振器MEMS
- 文献传递
- 计入空气阻尼的MEMS微谐振器非线性动力学研究被引量：6
- 2006年
- 针对横向振动MEMS微谐振器,计入非线性空气阻尼力,对微谐振器非线性动力学特性进行研究。建立微谐振器非线性动力学模型,计入滑移边界条件和稀薄气体效应,利用FLUENT和MATLAB对Navier-Stokes方程和动力学方程进行求解。经过与国外实验对比,可得出考虑非线性阻尼力的平板振幅值非常接近实验值,振幅峰-峰值误差仅为6%,且优于线性动力学的分析结果。为MEMS器件非线性动力学特性分析提供理论依据。
- 高嵘王小静张效翔王敏于茂华谢明春
- 关键词：非线性动力学微谐振器MEMS
