2024年12月27日
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廖敏
作品数:
147
被引量:10
H指数:1
供职机构:
湘潭大学
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发文基金:
国家自然科学基金
高等学校科技创新工程重大项目
湖南省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
一般工业技术
理学
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合作作者
周益春
湘潭大学材料与光电物理学院低维...
钟向丽
湘潭大学材料与光电物理学院低维...
王金斌
湘潭大学材料与光电物理学院
杨琼
湘潭大学
刘晨
湘潭大学
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周益春
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2009
1篇
2008
3篇
2007
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一种铁电场效应晶体管模型的建立方法和系统
本发明涉及一种铁电场效应晶体管模型的建立方法和系统,属于有限元建模技术领域。其中,所述方法包括:建立介电层可视的场效应晶体管的固体域计算模型;建立铁电薄膜电畴的相场模型;基于相场模型,对固体域计算模型进行修正,得到铁电场...
蒋丽梅
周芊骞
徐肖飞
明浩
廖敏
杨琼
彭强祥
周益春
一种Mo-Ti-Ta合金薄膜及其制备方法
本发明属于薄膜晶体管液晶显示器技术领域,本发明提供了一种Mo‑Ti‑Ta合金薄膜及其制备方法,在玻璃衬底上磁控溅射双靶或单靶,得到Mo<Sub>1‑x‑y</Sub>Ti<Sub>x</Sub>Ta<Sub>y</Sub...
廖敏
唐洁
曾斌建
魏修宇
吴建国
易小明
李志翔
一种镧系稀土离子掺杂钛酸铋单晶薄片及其制备方法
本发明公开了一种镧系稀土离子掺杂钛酸铋单晶薄片及其制备方法。所述的镧系稀土离子掺杂钛酸铋单晶薄片长度为5-10μm,厚度为50-200nm;其制备方法如下,第一步:采用乙二醇甲醚作为溶剂,按Bi<Sub>4-x</Sub...
王金斌
王芳
钟向丽
李波
廖敏
谭丛兵
文献传递
三维铁电场效应晶体管存储单元、存储器及制备方法
一种三维铁电场效应晶体管存储单元、存储器及制备方法,该存储单元包括:栅电极层(4);所述栅电极层(4)的厚度方向上设置有贯穿的第一通孔(14);从所述第一通孔(14)的内壁向靠近轴线的方向上,依次覆盖有第一介质层(9)、...
曾斌建
周益春
廖敏
文献传递
一种用于铁电器件中铁电薄膜可靠性评估的实验方法
本发明提供一种用于集成铁电器件中铁电薄膜可靠性评估的高效低成本实验方法。本发明首先获得铁电薄膜的初始性能参数,然后按工艺操作时间顺序,统计集成器件制作工艺路线中各工艺的温度和时间参数,提炼出对铁电薄膜性能影响较大的高风险...
彭强祥
兰杨波
杨琼
廖敏
周益春
文献传递
氧化铪铁电相单晶及其制备方法
本申请公开了一种氧化铪铁电相单晶及其制备方法,属于铁电存储器技术领域,其中,氧化铪铁电相单晶的制备方法包括:获取两根氧化铪多晶料棒;将两根所述氧化铪多晶料棒共线设置,且两根所述氧化铪多晶料棒之间留有预设距离的缝隙;将所述...
周益春
阳江衡
廖敏
廖佳佳
曾斌建
化学溶液沉积法制备钕锆共掺杂钛酸铋无铅铁电薄膜
采用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了钕锆共掺杂钛酸铋Bi3.15Nd0.85ZrxTi3-xO12(BNTZ)无铅铁电薄膜。用X射线衍射仪对BNTZ薄膜的晶体结构进行了分析,用RT Precisio...
廖辉
钟向丽
廖敏
周益春
关键词:
铁电性能
化学溶液沉积法
文献传递
一种双栅极场效应晶体管及其制备方法
本发明属于微电子器件技术领域,公开了一种双栅极场效应晶体管及其制备方法。本发明的场效应晶体管包括:衬底自下而上依次设置基底层和第一氧化物层;底部栅极自下而上依次设置第一金属层、第一氧化铪基负电容层及第二氧化物层;半导体层...
周益春
杨志斌
曾斌建
廖敏
一种铁电薄膜晶体管及其制备方法
本发明公开了一种铁电薄膜晶体管,包括衬底;在所述衬底上形成的缓冲层;在所述缓冲层上形成的底栅电极;在所述底栅电极上形成的铁电薄膜层;在所述铁电薄膜层上形成的高介电材料缓冲层;在所述高介电材料缓冲层上形成的沟道层;在所述高...
廖敏
贾林飞
刘晨
刘恒
彭强祥
周益春
文献传递
一种改善叠层氧化铪基铁电薄膜性能的方法及其叠层铁电薄膜
本发明属于铁电薄膜技术领域,本发明提供了一种改善叠层氧化铪基铁电薄膜性能的方法及其叠层铁电薄膜。该制备方法包括以下步骤:S1、将有机铪盐、掺杂金属盐、催化剂和有机溶剂混合后进行反应得到前驱体溶液M<Sub>1</Sub>...
尹路
李欣雨
廖敏
赵影
郑帅至
彭强祥
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