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刘蓓

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：医药卫生自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 7篇压阻
  • 7篇压阻式
  • 4篇芯片
  • 2篇大应变
  • 2篇电桥
  • 2篇电阻
  • 2篇压力传感器
  • 2篇压敏电阻
  • 2篇压阻式压力传...
  • 2篇应变电阻
  • 2篇元器件
  • 2篇塑料封装
  • 2篇漂移
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇温度漂移
  • 2篇离子注入
  • 2篇离子注入工艺
  • 2篇力传感器

机构

  • 10篇北京大学

作者

  • 10篇刘蓓
  • 9篇张大成
  • 9篇张威
  • 9篇李婷
  • 8篇王阳元
  • 4篇王兆江
  • 2篇王小保
  • 2篇罗葵
  • 2篇田大宇
  • 2篇李静
  • 2篇王颖
  • 2篇钱劲
  • 1篇贾景彬

传媒

  • 1篇第五届全国微...

年份

  • 1篇2007
  • 2篇2005
  • 2篇2004
  • 3篇2003
  • 1篇2001
  • 1篇1999
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法
本发明提供了一种MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法。MEMS压阻式压力传感器芯片，是一个杯状结构，包括一个方形感压膜和周围的支撑部分在感压膜的最大应变区之作了四个压敏电阻，组成点桥来敏感压力的变化，所述压敏电阻是采...
张威张大成刘蓓李婷王阳元
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新型压阻式CMOS集成加速度计的研制
主要论述了一种具有温度补偿的新型高精度、高过载复合硅加速度计的结构及工作原理,并对研制这种集成加速度计的关键工艺艺以及与之集成的CMOS电路部分进行了探讨.
贾景彬刘蓓张威李婷张大成
关键词：MEMS加速度计CMOS温度补偿
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一种加工制造微电子机械系统元器件的方法
本发明公开了一种加工制造微电子机械系统元器件的方法，目的是提供一种能够满足不同用户、不同器件加工需求、适用于微电子机械系统(MEMS)的元器件加工制造方法。本发明的技术方案为：一种元器件的制造方法，包括下述步骤中的至少二...
张大成张威李婷田大宇刘蓓罗葵王颖李静王兆江王阳元
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压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法和流量计
本发明的提供了一种压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法。芯片周边为硅框架，中心为一带穿通图形的硅膜片，膜片中心的多孔区构成了一个网状结构拉住四块应变膜片，四块应变膜片用于设置两对垂直摆放的应变电阻。芯片制备方法是以常规压...
张大成王小保钱劲李婷刘蓓张威王兆江王阳元
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MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法
本发明涉及一种MEMS压阻式伺服加速度传感器。包括三片硅片，三片硅片组成上硅帽、中间硅片和下硅帽的三明治结构，上下两层硅帽上均设反馈电极，中间硅片上设梁式结构，梁上设压敏电阻，组成惠斯登电桥来检测加速度信号，信号调制电路...
张威张大成刘蓓李婷王阳元
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压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法和流量计
本发明的提供了一种压阻式微型气体流量计芯片及其制备方法。芯片周边为硅框架，中心为一带穿通图形的硅膜片，膜片中心的多孔区构成了一个网状结构拉住四块应变膜片，四块应变膜片用于设置两对垂直摆放的应变电阻。芯片制备方法是以常规压...
张大成王小保钱劲李婷刘蓓张威王兆江王阳元
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MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法
本发明涉及一种MEMS压阻式伺服加速度传感器。包括三片硅片，三片硅片组成上硅帽、中间硅片和下硅帽的三明治结构，上下两层硅帽上均设反馈电极，中间硅片上设梁式结构，梁上设压敏电阻，组成惠斯登电桥来检测加速度信号，信号调制电路...
张威张大成刘蓓李婷王阳元
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MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法
本发明提供了一种MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法。MEMS压阻式压力传感器芯片，是一个杯状结构，包括一个方形感压膜和周围的支撑部分在感压膜的最大应变区之作了四个压敏电阻，组成点桥来敏感压力的变化，所述压敏电阻是采...
张威张大成刘蓓李婷王阳元
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卵巢癌抗独特型单链抗体6B11ScFv与鼠GM-CSF融合蛋白(6B11mGM)的构建、表达和特性研究
该文首次用抗独特型抗体融合蛋白在不用任何载体蛋白和佐剂情况下,作为抗原免疫动物,可诱导机体产生Ab<,3>.同时可刺激小鼠脾脏淋巴细胞CD4<'+>细胞明显升高,CD8<'+>细胞略有升高,并维持在一定水平.融合蛋白6B...
刘蓓
关键词：卵巢癌抗独特型抗体重组融合蛋白肿瘤疫苗
一种加工制造微电子机械系统元器件的方法
本发明公开了一种加工制造微电子机械系统元器件的方法，目的是提供一种能够满足不同用户、不同器件加工需求、适用于微电子机械系统(MEMS)的元器件加工制造方法。本发明的技术方案为：一种元器件的制造方法，包括下述步骤中的至少二...
张大成张威李婷田大宇刘蓓罗葵王颖李静王兆江王阳元
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