霍芸生
- 作品数：18 被引量：35H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 钡蒸气中放大自发辐射与参量四波混频的竞争
- 1995年
- 研究了在双光子共振条件下，Ｂａ蒸气中放大自发辐射（ＡＳＥ）与参量四波混频（ＰＦＷＭ）的竞争过程，其机制可归结为ＡＳＥ与ＰＦＷＭ之间的干涉相消。
- 霍芸生林英仪丁爱臻上官诚楼祺洪
- 关键词：非线性光学放大自发辐射
- KrF激光在氢－惰性气体体系中的反斯托克斯拉曼转换
- 1995年
- 通过氢－惰性气体体系中惰性气体分子对氢拉曼能级的碰撞加宽所引起的对拉曼增益系数的控制，抑制了由一阶向二阶斯托克斯的受激拉曼转换，提高了低价反斯托克斯拉曼转换的效率。
- 霍芸生丁爱臻
- 关键词：KRF激光散射氢气惰性气体
- X光预电离XeCl~*3080放电准分子激光器增益与饱和特性的研究被引量：1
- 1983年
- 本文用最大损耗法测定了X光预电离XeCl~*3080(?)雪崩放电准分子激光器在2～5个大气压运转的增益与饱和特性。结果表明,在这个气压范围内小讯号增益系数与饱和强度均随气压的上升而增加。
- 郑承恩霍芸生魏运荣
- 关键词：激光XECL准分子激光器预电离腔内损耗
- 亚稳态氖原子光刻的实验研究被引量：1
- 2003年
- 用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。用栅网作掩膜 ,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂 ,在硅片上刻蚀出分辨率为 2 μm的微结构 ,为进一步的纳米级原子光刻技术的研究打下了基础。
- 霍芸生蔡惟泉曾庆林鄢和明王育竹
- 关键词：原子光刻惰性气体微结构
- 紫外预电离20WXeCl准分子激光器的研究
- 1990年
- 从一台紫外预电离XeCl激光器中得到单脉冲能量～400mJ、平均功率22W的激光输出,其总体效率约2％。分析和实验测量表明,C-G能量转移效率对激光器的工作特性有着重要影响。
- 霍芸生楼祺洪魏运荣董景星丁爱臻丁泽安高鸿奕
- 关键词：准分子激光器脉冲重复频率
- 准分子激光器及其应用被引量：1
- 1991年
- 本文评述了准分子激光在激光加工、激光医疗中的应用前景,非线性光学在准分子激光技术中的运用,以及近年来高重复频率与高亮度准分子的激光器件的新进展。
- 霍芸生楼祺洪
- 关键词：准分子激光器激光器
- 反斯托克斯拉曼转换增益系数的最佳化
- 1994年
- 研究了反斯托克斯拉曼转换与受激拉曼散射之间的竞争过程，讨论了反斯托克斯拉曼转换增益系数的最佳化。
- 霍芸生
- 关键词：增益系数最佳化VUV
- 钡原子三重态的碰撞诱导受激辐射
- 1990年
- 在XeCl激光光泵的Ba蒸气中,首次观察到波长为551.9nm、606.3nm及611.1nm的受激辐射,它们分别对应于Ba原子的三重态跃迁:6s6d^3D_2—6s6p^3P_1、5d6p^3P_2-6s5d^3D_3及5d6p^3P_1—6s5d^3D_2.对于Ba原子的自旋禁戒跃迁6s7p^1P_1—6s6d^3D_2的可能性进行了探讨.
- 霍芸生丁爱臻魏运荣董景星
- 关键词：钡原子
- 原子光刻用亚稳态氖原子束源的研究被引量：2
- 2002年
- 研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源 ,其束流强度可达 3 3× 10 14 atoms/s·Sr.。研究了束流强度的变化规律 ,并对其机理进行了探讨。
- 霍芸生蔡惟泉曾庆林鄢和明王育竹
- 关键词：原子光刻惰性气体亚稳态原子束束流强度氖原子
- 红移高功率大失谐驻波光场原子光刻被引量：5
- 2001年
- 研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在激光功率较高的情况下 ,有实现原子光刻的可能。在单线功率输出为P =7W ,光斑尺寸为w0 =0 .1mm的Ar+ 离子激光束的条件下 ,Cr原子束在置于焦平面处的基板上所沉积的条纹半高宽度为 2 0nm左右 ,对比度为 4～ 5。提出了用增强腔来提高条纹对比度和减小色差的办法。在势阱深度增强 2 5 0 0倍时 ,沉积的条纹半高宽度为 5nm～ 10nm ,对比度约为 7。
- 曾庆林霍芸生蔡惟泉王育竹
- 关键词：原子光刻
