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郝淑荣
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
沈阳工业大学
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相关领域:
电气工程
理学
一般工业技术
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合作作者
唐燕
沈阳工业大学
李岩
沈阳工业大学
田立坚
沈阳工业大学
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1999
1篇
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一种永磁装置中磁场的有限元分析
1998年
本文研究了非线性磁场的数值计算方法。通过对磁控阴极溅射靶磁场进行计算和分析,给出了一种实用方案。
郝淑荣
唐燕
关键词:
磁场
有限元分析
永磁装置
永磁材料
磁控阴极溅射靶三维磁场的有限元分析
被引量:3
1999年
采用有限元方法对磁控阴极溅射靶三维磁场进行了计算和分析.该装置是一种用于玻璃镀膜的永磁装置,主要由永磁体、铁磁材料和不锈钢板组成.为保证靶中不锈钢板表面的磁场均匀分布,进行了多种方案的计算和调整,给出了一种实用方案,使得装置性能得到明显改善.
田立坚
唐燕
郝淑荣
李岩
关键词:
有限元
电磁场
永磁装置
镀膜
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