王菊香
- 作品数：9 被引量：12H指数：2
- 供职机构：华中科技大学更多>>
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- 相关领域：金属学及工艺电子电信自动化与计算机技术化学工程更多>>
- 磁盘表面精密测试技术
- 1994年
- 磁盘表面粗糙度测试技术与工业生产密切相关,在技术进步国家深受重视。本文在深入考察分析现代表面测量方法的基础上,对PZT调制光外差干涉法展开详尽分析研究,采用锯齿波驱动方案改造测量系统,可对磁盘表面粗糙度进行精确测定。
- 王菊香
- 关键词：磁盘表面粗糙度
- 锯齿波驱动PZT微测量技术与系统
- 1993年
- 磁盘表面粗糙度测试技术与工业生产密切相关,在技术进步国家深受重视。对PZT调制光外差干涉法的两种方案展开分析计算,选用锯齿波驱动方案实现高精表面测量技术,研制的测量系统可对磁盘表面粗糙度进行精确测量。
- 王菊香
- 关键词：磁盘表面粗糙度锯齿波
- 压电陶瓷调制器及其应用研究被引量：4
- 1994年
- 压电陶瓷调制器,在微测量中作为一种执行机构或传感器已得到广泛应用。应用PZT调制器作为微位移驱动器,已研制出磁盘表面非接触测量仪可实现▽10～▽14的高精表面的精确测量。介绍了仪器中所用的PZT调制器的实验研究结果,在简述PZT调制器的设计加工之后,着重介绍其位移-电压响应特性测试以及为提高响应曲线的线性度所采取的校正措施。结果表明,经串一适当容量的电容可使PZT调制器响应的线性度改善为1.08％,使测量仪的精度有了可靠保证。
- 王菊香
- 关键词：微位移测量压电陶瓷调制器
- 磁盘表面粗糙度移相干涉测量仪的PZT驱动分析与设计被引量：1
- 1994年
- 采用PZT振动产生移相,研制开发了可用于测量磁盘表面粗糙度的高精表面光学轮廓测量仪,本文在阐述系统工作原理之后,介绍其中的相移驱动装置的设计与实现。
- 王菊香倪浆铭裴先登
- 关键词：表面粗糙度干涉仪移相
- 高精表面测试仪研究
- 1993年
- 随着磁盘工业的技术进步,硬盘记录向高密度化发展。其记录性能越来越受到盘面粗糙度、平整度等机械性能的影响。因此,磁盘表面测试技术显得特别重要。本文采用PZT调制光外差干涉技术,设计并实现一种非接触测试系统。大量测试分析表明,本文给出的系统可实现磁盘表面粗糙度的精确测量。
- 王菊香倪浆铭裴先登
- 关键词：磁记录粗糙率非接触测量磁盘
- 2D－SROP－1型光学轮廓仪中调制误差的分析与抑制
- 1995年
- 应用ＰＺＴ作为微位移驱动机构，研制成２Ｄ－ＳＲＯＰ－１型光学轮廓测量仪，它的垂直分辨率可达１ｎｍ，可测量Ｒｎ＜０．１ｕｍ的表面。本文分析了微位移调制误差对仪器的影响，导出了测量相位偏差４ψ与调制误差△β的关系，考查了串联电容对微位移特性的影响。结果表明，在微位移调制器上串联一适当电容，使在仪器工作频率范围内响应线性度达到１．０８％，保证了仪器的测量精度。
- 王菊香李柱
- 关键词：表面粗糙度测量仪轮廓仪
- 光学轮廓仪中微位移调制方法的分析研究
- 1994年
- 应用ＰＺＴ作为微位移驱动机构，研制的光学轮廓仪的垂直分辨率可达１ｎｍ，可实现对表面Ｒａ从０．１６μｍ至０．０１μｍ的精确测量。在测试分析位移－电压动态响应特性基础上，讨论了微位移调制误差对仪器精度的影响，提出了改善响应线性度的方法，使仪器在工作频率范围内响应的线性度达到１．０８％，保证了仪器的测量槽度。
- 王菊香李柱
- 关键词：表面粗糙度光学轮廓仪
- 微测量中的PZT应用研究被引量：2
- 1994年
- 压电陶瓷调制器（ＰＺＴ），在微测量中作为一种执行机构或传感器已得到广泛应用。我们应用ＰＺＴ调制器作为微位移驱动器．研制的磁盘表面非接触测量仪可实现Ｒａ从０．１６到０．０１μｍ的高精表面的精确测量。本文介绍仪器中所用的ＰＺＴ的测试分析结果。文中将在简述ＰＺＴ的设计加工之后，着重介绍其位移－电压响应特性测试以及为提高响应曲线的线性度所采取的校正措施。结果表明．经串一适当容量的电容可使ＰＺＴ响应特性的线性度改善为１．０８％．使测量仪中的精度有了可靠保证。
- 王菊香
- 关键词：微位移测量压电陶瓷调制器
