殷伯华
- 作品数:7 被引量:3H指数:2
- 供职机构:北京工业大学更多>>
- 发文基金:北京市自然科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:金属学及工艺电子电信更多>>
- 准分子激光微细加工微锥体的旋转抛磨加工法被引量:2
- 2004年
- 介绍了一种采用准分子激光进行微细加工微锥体技术的新方法,并利用该方法在有机玻璃上制作质谱分离芯片电喷尖的实验。该方法借鉴了传统机械加工中车削的概念,但实质上依靠非接触的激光冷加工技术实现,是一种以准分子激光刻蚀(加工)与激光辐射方向垂直的旋转轴(工件)的抛磨加工法。该方法可主要用于圆柱体,圆锥体等轴对称三维微细结构的精密加工及微器件表面质量的优化。解决了对于微小器件表面进行抛光的难题,简化了利用准分子激光对轴对称工件的加工过程,提高了加工精度。
- 张瑜殷伯华陈涛左铁钏
- 关键词:准分子激光微加工研磨激光加工
- 旋转抛磨式准分子激光微细加工方法及系统
- 旋转抛磨式准分子激光微细加工方法及系统主要涉及微型轴对称零部件的加工。本发明首先将被加工工件(7)通过准轴调节装置(8)、旋转工作台(9)固定在位移工作台(10)上;然后调整工件的旋转轴线与旋转工作台的旋转轴线重合;启动...
- 陈涛张瑜殷伯华左铁钏
- 文献传递
- 旋转抛磨式准分子激光微细加工方法及系统
- 旋转抛磨式准分子激光微细加工方法及系统主要涉及微型轴对称零部件的加工。本发明首先将被加工工件(7)通过准轴调节装置(8)、旋转工作台(9)固定在位移工作台(10)上;然后调整工件(7)的旋转轴线与旋转工作台(9)的旋转轴...
- 陈涛张瑜殷伯华左铁钏
- 文献传递
- 基于Intel 8254的准分子激光外触发器的研究
- 介绍了一种利用可编程8254定时器/计数器,在微机上实现准分子激光微加工过程激光外触发控制的新方法.针对准分子激光的光刻直写技术的需求特点对所使用的分频器,以及8254的组合工作方式进行了研究.并在实际应用中对此外触发器...
- 殷伯华张瑜陈涛
- 关键词:准分子激光可编程计数器微加工
- 准分子激光微加工控制系统研究
- 该文首先分析了准分子微细加工工艺的特点,从其需求出发确定了该控制系统的总体框架.然后展开逐项内容研究.根据微动台的运动特点进行了基于计算机局部总线技术,以Intel8254为核心的硬件控制电路设计.实现了对微动台调x y...
- 殷伯华
- 关键词:准分子激光微机电系统计数器实时控制插补算法激光加工
- 文献传递
- 准分子激光微细加工光路变换研究
- 2001年
- 准分子激光微细加工技术以其较高的精度,较低成本及较快加工速度在微机械加工领域受到了极大的重视.它利用准分子激光波长短、光子能量高、脉宽窄、脉冲功率密度高的特点,其光子能量甚至高于某些材料的化学键而可以实现冷加工,并且波长短,聚焦光点小,所以加工精度高.但这毕竟不是一种成熟的技术,在很多方面还需要进行进一步的研究.
由于掩模投影成像法的加工为并行加工,加工速度快,加工精度高,可一次成形,为了能够控制加工的精度,必须要求激光光束均匀一致.而由于各种材料都有一定的刻蚀阈值,如果能量利用率过低,就会使准分子激光加工的范围变小.光束辐照强度分布均匀性与光能利用率,这是在光路调整中需要考虑的最为重要的两点.
采用均束器后,准分子激光光束的发散角对均束效果有较大的影响.而真正的光路调整需要综合考虑均束效果、能量利用率.由于光束经过均束器后发散角变大,必须采用场镜压缩发散角.由于准分子激光光束尤其是经过了复眼均束器后的准分子激光束已经远离纯几何光线或高斯光束的传播规律,场镜的尺寸选择不能依据传统的几何光学算法.我们按照发散角原则来对场镜参数进行计算,结合实验测量,最终得到了比较好的结果.(PE7)
- 荆涛殷伯华陈涛左铁钏
- 关键词:准分子激光微细加工
- 基于Intel8254的准分子激光外触发器的研究被引量:2
- 2004年
- 介绍了一种利用可编程Intel8254定时器/计数器在微机上实现准分子激光微加工过程激光外触发控制的新方法。针对准分子激光的光刻直写技术的需求特点对所使用的分频器以及8254的组合工作方式进行了研究,并在实际应用中对该外触发器的优势进行了分析。结果表明,由此方法制作的准分子激光外触发控制器具有性能可靠、结构简单和可编程控制等特点。
- 殷伯华张瑜陈涛
- 关键词:准分子激光激光微加工触发控制器