杨燕
- 作品数:18 被引量:17H指数:3
- 供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金中国博士后科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域:化学工程理学文化科学更多>>
- 国产氧化铝粉体的改性及其烧结性能研究
- 周国红杨燕王士维王利郭倩杨珊珊何承敏徐丽萍
- YAG透明陶瓷抗等离子体侵蚀性能的研究
- 等离子体刻蚀是半导体制造的核心工艺之一。等离子体在刻蚀晶圆的过程中,也会对观测窗、腔体内壁、管路等造成侵蚀,从而导致观测窗模糊、刻蚀机寿命降低、晶圆污染等一系列问题。研究和开发高抗等离子体侵蚀材料以提高刻蚀机的寿命和减少...
- 覃显鹏周国红王士维章健杨燕
- 文献传递
- 一种透明陶瓷材料及其制备方法
- 本发明公开了一种透明陶瓷材料及其制备方法。所述透明陶瓷材料为锆酸镧钇陶瓷,其化学式为LaYZr<Sub>2</Sub>O<Sub>7</Sub>。所述材料的制备方法包括粉体制备、成型、烧结和退火热处理步骤,所述的粉体制备...
- 易海兰邹小庆周国红杨燕王士维
- 文献传递
- 一种低温烧结致密氧离子导体材料及其制备方法
- 本发明公开一种低温烧结致密氧离子导体材料及其制备方法。所述低温烧结致密氧离子导体材料由85~99wt%的单斜相ZrO<Sub>2</Sub>陶瓷基体和1~15wt%的铜基三元氧化物助烧剂组成;所述铜基三元氧化物的组成为C...
- 刘志甫杨燕马名生
- YAG透明陶瓷抗等离子体侵蚀性能的研究被引量:1
- 2013年
- 以商业Al2O3粉和商业Y2O3粉为原料,采用真空固相反应烧结法成功制备出了高质量的YAG透明陶瓷。对不同温度烧结的YAG透明陶瓷的显微结构和抗等离子体侵蚀性能进行了研究。结果表明:在实验温度范围内,YAG陶瓷晶粒尺寸随着烧结温度的升高逐渐增大,陶瓷光学质量逐渐提高;YAG透明陶瓷的抗等离子体侵蚀性能随着烧结温度的升高逐渐增强;等离子体对YAG陶瓷的腐蚀主要以物理轰击溅射为主,YAG陶瓷的质量和晶粒尺寸对陶瓷的抗等离子体侵蚀能力有直接影响。
- 覃显鹏周国红王士维章健杨燕
- 关键词:钇铝石榴石透明陶瓷稀土显微结构
- 燃烧法合成铪酸钇粉体及其透明陶瓷的制备被引量:3
- 2011年
- 以硝酸钇(Y(NO3)3)和氯化铪(HfCl4)为原料,乙二胺四乙酸(EDTA)作为燃剂,采用燃烧法制备了粒径为50nm左右的纯相铪酸钇粉体.粉体经1200℃煅烧后高能球磨15h,然后在200MPa条件下进行冷等静压成型,素坯尺寸为φ20mm×2.5mm,最后采用真空烧结(1850℃保温6h),制备出可见光波段直线透过率为50%的铪酸钇透明陶瓷.研究了真空烧结温度对样品透过率和显微结构的影响,当烧结温度高于1850℃时,温度对于透过率影响不是很明显;随着烧结温度的升高,样品的晶粒尺寸增大.
- 邹小庆周国红易海兰杨燕王士维
- 关键词:燃烧合成法透明陶瓷真空烧结
- 一种制备陶瓷坯体的方法
- 本发明公开了一种制备陶瓷坯体的方法,其包括如下步骤:以水为溶剂,加入水溶性顺丁烯类聚合物,制备陶瓷浆料;将制备的陶瓷浆料注入成型模具中,在空气中,于15℃~40℃进行自凝胶原位固化;充分固化后脱模,干燥。本发明通过采用能...
- 杨燕岛井骏藏周国红王士维
- 文献传递
- 热等静压制备亚微米细晶氧化铝陶瓷的研究
- 商业氧化铝粉体为原料,MgO为烧结助剂,采用干压结合冷等静压成型素坯,再经适当温度预烧得到具有一定密度的预烧体,对预烧体的晶粒生长与致密化过程进行了研究。素坯在1275℃/160MPa下热等静压烧结2h后得到了平均晶粒尺...
- 易海兰周国红邹小庆杨燕王士维
- 关键词:氧化铝粉体热等静压烧结助剂力学性能
- 一种低温烧结微波介质材料及其制备方法
- 本发明涉及一种低温烧结微波介质材料及其制备方法。所述低温烧结微波介质材料的化学组成为xM<Sub>u</Sub>Al<Sub>v</Sub>O<Sub>w</Sub>+y(aCuO‑bTiO<Sub>2</Sub>‑cN...
- 刘志甫杨燕马名生
- 高纯度氧化铝粉体颗粒细化对烧结致密化及透光性能的影响被引量:6
- 2010年
- 以法国Baikowski公司高纯度氧化铝粉体为参照,选取大连瑞尔精细陶瓷有限公司产超高纯度氧化铝粉体为研究对象。采用研磨处理,以改善国产氧化铝粉体的形貌、粒径及其分布。分别采用硅钼电炉中常压烧结和真空气氛下在1850℃烧结2种不同的烧结方式评价了研磨后粉体的烧结性能和用于制备半透明氧化铝陶瓷的可行性。结果表明:经过研磨改性处理后,粉体的粒径分布和比表面积接近于法国粉体;在1600℃常压烧结得到的氧化铝陶瓷达到理论密度的97%,具有均一的晶粒尺寸(~5μm)。添加MgO为烧结助剂,在真空下烧结得到了半透明氧化铝陶瓷,在波长为200~1100nm范围直线透过率最大值达到16%。
- 周国红杨燕王利郭倩杨珊珊何承敏王士维
- 关键词:研磨粒度分布