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李锂

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:西安工业学院更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇实时监控
  • 1篇实时监控系统
  • 1篇膜厚
  • 1篇监控系统
  • 1篇光学
  • 1篇光学常数
  • 1篇薄膜厚度

机构

  • 1篇西安工业学院

作者

  • 1篇李锂
  • 1篇倪原
  • 1篇齐华

传媒

  • 1篇探测与控制学...

年份

  • 1篇2004
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
光学薄膜厚度实时监控系统检测电路设计
2004年
提出了一种多层1/4波长膜系的薄膜厚度监控系统的检测电路的设计方法,该方法采用了以锁定放大器为核心的检测电路。根据锁定放大器的工作原理,提出了利用锁定放大器检测微弱信号的实验方法,并指出了影响测量的几个参数。
倪原齐华李锂
关键词:薄膜厚度光学常数
共1页<1>
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