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李锂
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西安工业学院
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齐华
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倪原
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2004
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光学薄膜厚度实时监控系统检测电路设计
2004年
提出了一种多层1/4波长膜系的薄膜厚度监控系统的检测电路的设计方法,该方法采用了以锁定放大器为核心的检测电路。根据锁定放大器的工作原理,提出了利用锁定放大器检测微弱信号的实验方法,并指出了影响测量的几个参数。
倪原
齐华
李锂
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薄膜厚度
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