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李英杰

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项中国科学院科研装备研制项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇匹配网络
  • 2篇阻抗匹配
  • 2篇阻抗匹配网络
  • 1篇等离子体
  • 1篇射频电源
  • 1篇全反射
  • 1篇全固态
  • 1篇ADS
  • 1篇ALD
  • 1篇E类

机构

  • 2篇昆明理工大学
  • 2篇中国科学院微...

作者

  • 2篇李英杰
  • 2篇赵章琰
  • 2篇李勇滔
  • 2篇李超波
  • 2篇秦威
  • 2篇夏洋
  • 1篇陈盛云
  • 1篇许晓平
  • 1篇孙小孟

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇现代电子技术

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究被引量：1
2012年
阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证,该阻抗匹配器和控制方法可实现阻抗匹配。
孙小孟李勇滔夏洋李超波李英杰陈盛云赵章琰秦威
关键词：阻抗匹配网络ALDADS
全固态高效率射频电源被引量：5
2011年
射频电源作为微电子设备如刻蚀机、溅射台和PECVD等的核心部件，其性能的好坏直接关系到整个设备的性能。固态射频电源采用E类MOSFET功率放大器，通过适当的阻抗匹配网络，最终的射频电源在500W的额定功率下，功率转换效率可以达到84％，微电子设备真空腔室内的等离子体启辉时，其阻抗变化范围很大且速度很快。目前匹配速度最快的MKS的自动匹配器（在允许匹配范围内匹配到50Ω时用时3～5S）也很难实时跟上，所以固态射频电源必须能够承受500W功率的反射至少3～5s。经过实验后，本固态射频电源完全可以承受500W功率的全反射308左右。
秦威李勇滔李超波夏洋李英杰赵章琰许晓平
关键词：E类阻抗匹配网络等离子体全反射
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