李太平
- 作品数：6 被引量：10H指数：2
- 供职机构：西北工业大学更多>>
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- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种MEMS周期可调光栅衍射特性的实验研究被引量：4
- 2010年
- 介绍了一种周期连续可调的微型可编程光栅.光栅采用静电梳齿驱动,不同驱动电压对应不同周期变化,从而引起特定级次衍射角发生变化.为了测得不同驱动电压下的衍射角变化,搭建了实验测量光学系统,利用激光三角法测量原理及图像处理的方法得出实验结果.测量结果与光栅测量参量计算角度变化基本一致,不同电压下的衍射角变化与不同的周期变化对应良好.
- 李太平李晓莹虞益挺燕斌孙瑞康乔大勇
- 关键词：微机电系统激光三角法图像处理
- 基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法
- 本发明公开了一种基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法，属于微机电系统微细加工和晶圆划片领域。该方法的关键在于利用ICP刻蚀的高深宽比效应，采用一张MEMS结构掩膜版与一张与其对应的掩膜版，对SOI晶圆的正反两面进行...
- 李晓莹孙瑞康乔大勇燕斌虞益挺李太平
- 文献传递
- 多光谱成像系统
- 本发明公开了一种新型的多光谱成像系统，属于光谱成像领域。该系统包括前处理光学子系统(1)、微型可编程光栅(2)及其驱动控制电路(3)、后处理光学子系统(4)和成像子系统(5)。前处理光学子系统(1)采集目标光线并进行汇聚...
- 苑伟政虞益挺乔大勇梁庆王兰兰李太平
- 一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用被引量：1
- 2009年
- 采用两层多晶硅表面微加工工艺,研制开发了一种新型的微型可编程闪耀光栅.该光栅具有结构简单、工作谱段宽、光谱连续可调等特点.为了实现可工作闪耀角的最大化,有效利用Dimple结构作为栅条的核心功能组件,其高度接近空气间隙.由实验测得,研制的微型可编程闪耀光栅在驱动电压112V作用下能达到的最大可工作闪耀角约5.19°,对应的最大闪耀波长达到中红外4.88μm.在此基础上,以该微型可编程闪耀光栅为核心的分光元件,研究了其在多光谱成像领域应用的可行性,并搭建了多光谱成像系统的原型样机,得到了较好的实验结果.最后,讨论了该成像系统的优点,并提出了进一步研究的建议.
- 虞益挺苑伟政燕斌李太平姜澄宇
- 关键词：多光谱成像
- 基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法
- 本发明公开了一种基于SOI晶圆的MEMS结构制作及划片方法，属于微机电系统微细加工和晶圆划片领域。该方法的关键在于利用ICP刻蚀的高深宽比效应，采用一张MEMS结构掩膜版与一张与其对应的掩膜版，对SOI晶圆的正反两面进行...
- 李晓莹孙瑞康乔大勇燕斌虞益挺李太平
- 一种新型SOG周期可调光栅的制作及其衍射性能测试被引量：5
- 2010年
- 研制了一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型微型可编程光栅——周期可调光栅。该光栅采用玻璃体上硅(SOG)加工工艺,静电梳齿驱动,具有操作简单、连续可调和宽调制等特点。该光栅在静电驱动力的作用下,周期的变化引起特定级次下单色光衍射角的变化及复色光光谱的偏移。针对该光栅的衍射特性,设计及搭建两套光学系统,根据光栅结构设计参数的理论计算与测量结果基本一致,充分表明该光栅能对光具有良好的调制作用。为该器件在微型光谱仪和光开关的应用提供了技术参考。
- 燕斌苑伟政虞益挺乔大勇孙瑞康李太平
- 关键词：衍射特性
