曹伯承
- 作品数:3 被引量:0H指数:0
- 供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院电子科学与技术系更多>>
- 发文基金:教育部“新世纪优秀人才支持计划”湖北省青年杰出人才基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 硅粉在振动阴极反应室中的刻蚀模型研究
- 一直以来,硅材料的昂贵成本限制了太阳能电池在地面的应用普及,因此低成本硅材料制造技术的研究开发成为太阳能电池发展的一个比较关键的环节。本文将原直立平板电极反应室进行了改进,并在此基础上研究了冷等离子体刻蚀硅粉提纯的刻蚀理...
- 曹伯承
- 关键词:冷等离子体刻蚀速率
- 文献传递
- 等离子体刻蚀提纯冶金硅研究
- 2009年
- 通过自行设计的冷等离子体粉粒纯化系统,将硅粉撒进辉光放电区,以Ar气为反应气体,利用鞘层区域辉光放电的冷等离子体对硅粉料的作用,进行一系列的处理后,硅粉表面形貌平整度明显提高,纯度从98.75%提高到99.56%。在此基础上,设计射频感应放电等离子体的振动倾斜反应室,经实验,将硅粉纯度提高到99.96%,接近太阳级硅的要求,也为该研究未来的发展提供了新的思路和理论参考。
- 尹盛曹伯承赵亮王敬义
- 关键词:冷等离子体刻蚀射频
- 直流偏场下BST电性能计算机测试系统
- 2008年
- 针对BaxSr1-xTiO3(BST,钛酸锶钡)材料在直流偏场下的电性能的变化,设计出一种直流偏场下BST电性能参数计算机测试系统。该系统测试结果通过串口输入计算机,通过LabVIEW编写的虚拟仪器程序实时处理与显示材料在不同偏压下的介电常数-温度曲线与损耗曲线,从中引申出了一种外加直流偏场下热释电系数的测试方法。利用该系统在25~70℃,200V与400V偏压下,对BST样片进行了测量,得到了相关曲线与数据,其中400V下材料相对介电常数峰值与热释电系数峰值在42.2℃达到6795.51与1.17×10^-7C/cm^2·K,测量结果对于研究BST材料的红外探测性能具有现实意义。
- 孔宁林晓牧马韬曹伯承金学淼姜胜林
- 关键词:BST直流偏场计算机测试系统LABVIEW