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施亚申
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3
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供职机构:
中华人民共和国工业和信息化部
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电子电信
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合作作者
孙毅之
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2001
1篇
1998
1篇
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砷化镓材料载流子浓度PCIV测试系统
2001年
本文介绍了用PCIV技术进行GaAs材料载流子浓度测量的方法及我们研制的PCIV测试系统。该系统由探针台、测量单元和计算机系统组成;计算机通过接口与探针台和测试单元相连,形成了全自动化二维I-V特性测试系统。利用系统控制及数据处理软件可以方便地设定测量参数,对测量结果作二维位图或三维面图显示及统计计算。文中给出了部分离子注入GaAs晶片载流子浓度分布的测量结果。
施亚申
孙毅之
关键词:
砷化镓
载流子浓度
半绝缘砷化镓微区电阻率三电极法测量研究
孙毅之
施亚申
关键词:
半绝缘体
微区分析
砷化镓
第三电极
电阻率
三电极法电阻率二维分布测量技术及其应用
1998年
本文介绍了三电极保护法半绝缘砷化镓材料电阻率二维分布自动测量系统,在实际应用中,温度波动、异常数据对测量结果产生严重影响,为此我们提出了一些措施。文中给出了一些样品测量结果的统计数据(相对标准偏差,平均值)和等值图,并对这些结果进行讨论。
孙毅之
施亚申
赵瑞瑶
李光平
苑进良
关键词:
半绝缘
砷化镓
电阻率
掺杂
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