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孙燕

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：有色金属研究总院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇抛光片
  • 3篇硅抛光片
  • 2篇硅片
  • 1篇平整度
  • 1篇加工参数
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻材料

机构

  • 3篇有色金属研究...

作者

  • 3篇孙燕
  • 2篇卢立延

传媒

  • 1篇1998年全...
  • 1篇1998年全...
  • 1篇第九届全国半...

年份

  • 2篇1998
  • 1篇1995
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
影响光刻工艺质量的硅抛光片加工参数——平整度
孙燕陈学清
关键词：光刻材料抛光片
应用表面扫描仪研究硅抛光片表面质量
卢立延孙燕
关键词：硅抛光片硅片
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应用表面扫描仪研究硅抛光片表面质量
卢立延孙燕
关键词：硅抛光片硅片
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