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叶大千
作品数:
15
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
杜小龙
中国科学院物理研究所
梅增霞
中国科学院物理研究所
梁会力
中国科学院物理研究所
刘尧平
中国科学院物理研究所
侯尧楠
中国科学院物理研究所
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界面可控的MgZnO/Si外延工艺及光电子/微电子器件应用
梅增霞
梁会力
侯尧楠
叶大千
刘尧平
杜小龙
关键词:
紫外探测器
深紫外探测器及其制备方法
本发明公开了一种深紫外探测器及其制备方法。所述深紫外探测器包括金属电极和材料为Mg<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O的薄膜层,所述金属电极通过一过渡层与所述薄膜层连接,所述过渡层的材料选择成能够降...
梅增霞
侯尧楠
梁会力
叶大千
刘尧平
杜小龙
文献传递
在Si衬底上制备纤锌矿相M<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O单晶薄膜的方法
本发明提供一种在Si衬底上制备M<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O(M=Mg,Be)单晶薄膜的方法,包括:在Si衬底表面上沉积Be金属单晶薄膜;氧化Be金属薄膜以获得BeO单晶层;在BeO单晶层上...
梅增霞
梁会力
梁爽
叶大千
刘章龙
崔秀芝
刘尧平
杜小龙
文献传递
新型薄膜晶体管及光电子器件和微电子器件
本发明提供了一种新型薄膜晶体管及光电子器件和微电子器件。新型薄膜晶体管包括:栅极、源极以及漏极;衬底;栅绝缘层;布置在所述栅绝缘层上的Mg<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1‑x</Sub>O沟道层,其中0≤x≤1;...
梅增霞
叶大千
刘利书
梁会力
刘尧平
杜小龙
文献传递
MgZnO单晶薄膜的界面工程及日盲紫外探测器研制
作为第三代半导体的核心基础材料,ZnO具有非常优越的光电性能,在低阈值、高效率的短波长光电子器件领域有着极为广阔的应用前景.目前ZnO在国际上最被看好的潜在应用之一是高性能的深紫外(尤其是日盲紫外)探测器.理论上通过Mg...
梁会力
侯尧楠
刘章龙
叶大千
梁爽
梅增霞
杜小龙
Cu2O单晶薄膜的界面控制外延生长及氧化动力学过程研究
李俊强
梅增霞
叶大千
刘尧平
梁会力
侯尧楠
杜小龙
一种用于黑硅的宽波段范围减反射方法
本发明提供了一种用于黑硅的宽波段减反射方法,包括以下步骤:1)在黑硅表面上制备一层中间层,其中所述黑硅为具有陷光结构的硅;2)在步骤1)得到的中间层上沉积金属纳米颗粒,该金属纳米颗粒为不连续的或互不接触;3)对步骤2)得...
王燕
刘尧平
叶大千
梅增霞
杜小龙
文献传递
一种用于黑硅的宽波段范围减反射方法
本发明提供了一种用于黑硅的宽波段减反射方法,包括以下步骤:1)在黑硅表面上制备一层中间层,其中所述黑硅为具有陷光结构的硅;2)在步骤1)得到的中间层上沉积金属纳米颗粒,该金属纳米颗粒为不连续的或互不接触;3)对步骤2)得...
王燕
刘尧平
叶大千
梅增霞
杜小龙
文献传递
一种氧化亚铜薄膜的制备方法
本发明公开了一种氧化亚铜薄膜的制备方法,包括:1)选取单晶衬底并清洗,然后将其导入超高真空制膜系统;2)在超高真空下对单晶衬底进行热处理,以去除其表面杂质;3)在气压≤10<Sup>-8</Sup>mbar条件下,在步骤...
李俊强
梅增霞
叶大千
崔秀芝
杜小龙
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界面可控的MgxZn1-xO/Si外延集成及光电子/微电子器件应用研究
本文利用射频等离子体辅助分子束外延设备,开发了硅衬底上金属Be膜的沉积及原位氧化界面控制技术,通过系统研究温度对Be原子在Si(111)衬底上的沉积以及原位氧化行为的影响,获得了有利于制备单畴纤锌矿相氧化物的最佳Be0模...
梅增霞
梁会力
侯尧楠
叶大千
刘尧平
杜小龙
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