刘细成
- 作品数：8 被引量：93H指数：5
- 供职机构：四川大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放课题基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 正确使用多次测量法提高椭偏测量精度被引量：8
- 2004年
- 通过分析椭偏测量的复杂性可知椭偏角高精度测量的重要性 ,针对曾认为可提高测量精度的多角度测量法在不恰当地增加入射角时极易破坏求解收敛性得到伪解的情况 ,提出了在测量误差一定和合适数目的多入射角时分别进行单角度多次数测量椭偏角来提高薄膜参数精度的方法 ,并对不同搜索范围和不同测量误差时的诸多情况进行了大量模拟计算。此方法能有效避开伪解、得到高精度的稳定真值 ,是提高椭偏测量精度的有效方法之一。
- 王芳宁王植恒刘细成刘洋
- 关键词：椭偏测量椭圆偏振
- 波分复用系统的发展现状及前景展望被引量：2
- 2002年
- 简要概述了波分复用系统的发展及应用现状，并对其前景做出了展望。
- 刘细成王植恒
- 关键词：波分复用系统WDM技术光通信技术全光网络
- 透射光谱法测量薄膜参数的研究
- 该论文就透射光谱法测量薄膜的参数进行了较为详细、系统地研究.用极其简单的形式给出了经电磁理论严格推导出来的透射率公式,该公式包含了影响透射光谱的大部分薄膜和基底的参数.提出了一种用透射光谱和模拟退火算法一次性同时确定薄膜...
- 刘细成
- 关键词：透射光谱模拟退火算法光学常数
- 文献传递
- 任意各向异性介质光栅的严格模式理论分析被引量：29
- 2002年
- 将“逆规则”傅里叶级数展开法和反射透射系数阵递推算法进行推广 ,对任意面形及任意入射角的电磁各向异性介质光栅衍射特性进行研究。该方法物理概念清晰 ,数值计算稳定收敛 ,计算速度快 ,并与其它方法的计算结果进行了比较。
- 唐雄贵傅克祥王植恒刘细成
- 关键词：衍射特性物理模型
- 消光椭偏仪测量中的四区域法平均被引量：2
- 2001年
- 作者讨论了如何用四区域法平均对椭偏仪测量数据进行处理的问题 ,通过分析认为 ,该法可以消除由起偏器、补偿器、检偏器引起的方位角误差 .并用该法规范椭偏测量角Ψ和Δ ,使Ψ∈(0°,90°)和Δ∈(0°,36 0°) ,实验所得结果与理论计算值符合得很好 .
- 廖清君王植恒王磊周传宏赖成军刘细成
- 模拟退火法在吸收薄膜的椭偏反演算法中的应用被引量：32
- 2002年
- 将一种广泛用于求解复杂系统优化问题的技术———模拟退火法———用来求解椭偏反演方程。首先假设一个薄膜模型 ,计算出其相应的椭偏参数 (Ψ ,Δ)的值 ,在这个计算值的基础上加入不同标准偏差的高斯噪声 ;然后将加入噪声后的值 (Ψm ,Δm)作为模拟的测量数据 ,采用模拟退火算法进行求解 ,验证得知这种方法求得的薄膜参数很接近于假设的薄膜模型参数的真值 ,与其他文献的报道结果一致 ,而且在扩大搜寻范围时 ,仍然可以得到准确解 ,从而证明了该方法的可行性以及有效性。
- 廖清君王植恒王磊周传宏赖成军刘细成
- 关键词：模拟退火测量方法
- 一种新型的光束分束结构——复合调制型光栅被引量：2
- 2006年
- 提出利用表面既有浮雕,体内又有折射率调制的一种新型衍射光栅来实现光束分束功能。针对波长为850nm正负一级和零级等衍射效率的光束分束器,优化设计了面型为正弦形、三角形、矩形的浮雕光栅以及体积相位全息光栅和复合调制型光栅共五种光栅。同时数值模拟了该光栅结构在实验制作过程中对各光栅参量误差的不敏感程度,该光栅在实验制作上优于其他类型光栅。
- 李建龙张丽娟傅克祥刘细成
- 关键词：光栅分束器衍射效率
- 用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数被引量：18
- 2003年
- 提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法 ,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性 ,先进行了计算模拟 ,然后对SiNx 薄膜进行了测量。模拟结果与理论值非常接近 ,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好。此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点。
- 刘细成王植恒廖清君赖成军
- 关键词：透射光谱模拟退火光学常数
