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项略略
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3
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供职机构:
浙江大学
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发文基金:
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李东升
浙江大学
金璐
浙江大学
杨德仁
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机构
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浙江大学
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项略略
2篇
杨德仁
2篇
金璐
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李东升
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2013
1篇
2011
1篇
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电子束诱生硅中位错的发光性质及其物理结构研究
硅作为最重要的半导体材料被广泛地用于微电子器件的制造,而基于硅集成电路工艺的硅基光电子,不仅能够为微电子器件提供大带宽的光互连,还可以降低光电子器件的制造成本,从而成为国际上半导体领域研究的热点之一。但是,与集成电路制造...
项略略
关键词:
半导体硅材料
电子束辐照
电致发光性能
位错结构
光谱性质
硅纳米晶敏化铒硅化合物中铒离子的光致发光研究
本文运用电子束蒸发的方法制备了厚度约300nm的Er-Si-O薄膜,并且通过高温热处理将硅纳米晶和铒硅化合物颗粒引入到SiO2基质中,实现了硅纳米晶对铒硅化合物的敏化作用。卢瑟福背散射(RBS)分析表明Er—Si-O薄膜...
金璐
项略略
李东升
杨德仁
关键词:
硅纳米晶
一种在硅片上引入位错的方法
本发明公开了一种在硅片上引入位错的方法,采用足以破坏硅晶格的能量束对硅片表面进行辐照,在辐照的区域引入密度可控的位错,位错的密度受能量束的能量强度控制,能量越大,引入的位错密度越大,位错的位置既可在硅片表面也可位于硅片内...
杨德仁
项略略
李东升
金璐
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